一种蓝宝石基片制作方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201710253784.2 （22）申请日 2017.04.18

（71）申请人 山西中聚晶科半导体有限公司

地址 030600 山西省晋中市晋中开发区机械园2号

（10）申请公布号 CN106903559A

（43）申请公布日 2017.06.30

（72）发明人 郝贵荣 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

B24B1/00; C09K3/14; B08B3/12;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种蓝宝石基片制作方法

（57）摘要

本发明涉及一种蓝宝石基片制作方法。采

用的技术方案为：一种蓝宝石基片制作方法，包括以下步骤：1）将一晶棒切割成多片晶圆；2）将晶圆放入研磨机中，将研磨垫粘贴到研磨机的上盘与下盘，加入研磨液A，研磨4‑5小时，得到晶圆粗料；3）将晶圆粗料取出，采用30‑50℃温

水超声清洗3‑5min后，放入另一台研磨机中，将研磨垫粘贴到研磨机的上盘与下盘，加入研磨液B，研磨7‑8小时，得到晶圆细磨料；4）将晶圆细磨料取出，采用30‑50℃温水超声清洗3‑5min后，放入另一台研磨机中，将抛光垫粘贴到研磨机的上盘与下盘，加入研磨液C，对晶圆细磨料进行抛光，至得到所需粗糙度的蓝宝石基片。

法律状态

法律状态公告日

2017-06-30 2017-06-30 2017-06-30 2017-07-25 2017-07-25 2020-02-28

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回法律状态

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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