专利名称:电极用钛材的表面处理方法专利类型:发明专利
发明人:铃木顺,佐藤俊树,久本淳,伊藤良规,谷藤信一,屋敷贵
司
申请号:CN200810185515.8申请日:20081212公开号:CN101519779A公开日:20090902
摘要:提供一种用于成为导电性、耐腐蚀性、耐氢吸收性优异的电极用钛材的电极用钛材的表面处理方法。本发明的电极用钛材的表面处理方法,其特征是包含如下工序:在由纯钛或钛合金构成的钛材的表面形成10nm以上、80nm以下厚度的氧化钛层的氧化钛层形成工序;通过PVD法,在所述氧化钛层之上将含有从Au、Pt、Pd中选择的至少1种贵金属形成为2nm以上厚度的贵金属层的贵金属层形成工序;以300℃以上、800℃以下的温度对形成有所述贵金属层的钛材进行热处理的热处理工序。
申请人:株式会社神户制钢所
地址:日本兵库县
国籍:JP
代理机构:中科专利商标代理有限责任公司
代理人:汪惠民
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