(12)发明专利说明书
(21)申请号 CN03150184.2 (22)申请日 2003.07.18 (71)申请人 阿洛卡株式会社
地址 日本东京都
(10)申请公布号 CN100403990C
(43)申请公布日 2008.07.23
(72)发明人 佐藤正平
(74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 程伟
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
超声波探头及其制造方法
(57)摘要
本发明的用于生物体的超声波诊断装
置的超声波探头具有由多个积层型振动元件构成的振子阵列。通过跨过邻接的两个振动元件,形成特定结构(对置结构)。在各振动元件中,接地用第一垂直电极层与顶面电极层和内部电极层连接,信号用第二垂直电极层与底面电极层和内部电极层连接。当形成特定结构时,反复进行在积层体上形成槽和填充该槽等的工序。最终,通过形成多个分离槽,将积层体分割为多个振动元件。另一方面,沿水平方向对各振动元件进行复合处
理。该复合处理可在特定结构的形成之前、形成之中和形成之后的任何阶段进行。 法律状态
法律状态公告日
2004-03-10 2005-07-13 2008-07-23 2012-02-29 2015-09-09
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 专利权的终止
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 专利权的终止
权利要求说明书
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说明书
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