（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201110229846.9 （22）申请日 2011.08.11
（71）申请人 无锡华润上华科技有限公司
地址 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
（10）申请公布号 CN102931059A
（43）申请公布日 2013.02.13
（72）发明人 周军
（74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 常亮
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
背金溅射方法
（57）摘要
本发明实施例公开了一种背金溅射方法，
包括：获取晶片的厚度与分步作业次数间的第一对应关系；获取晶片的厚度与溅射设备工作功率间的第二对应关系；根据所述第一对应关系，按照与产品晶片的厚度相对应的作业次数，将整个溅射过程划分为几个溅射步骤；根据所述第二对应关系以及对溅射步骤的划分，选取与产品晶片的厚度相对应的工作功率，对所述产品晶片进行背金的溅射，在选择的工作功率下，溅射过程出
现金属聚集状缺陷的个数在工艺允许范围内；在完成一个溅射步骤后，停止溅射过程，采用冷却水对溅射设备进行降温，直至完成整个溅射过程。本发明实施例减少了在较薄的器件背面，采用溅射方式淀积背金时的金属原子聚集状缺陷。
法律状态
法律状态公告日
2013-02-13 2013-03-20 2015-11-25
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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