专利名称:液剂涂敷装置专利类型:发明专利发明人:前田贤司,中谷政次申请号:CN201880053399.6申请日:20180628公开号:CN111032360A公开日:20200417
摘要:本发明提供能够抑制压电元件的损伤的液剂涂敷装置。液剂涂敷装置(10)具备使液剂存积部(11)的内部容积产生变化的膜片(12)、位于膜片(12)之上的压电元件(13)、以及位于压电元件(13)之上的预压弹簧(14)。
申请人:日本电产株式会社
地址:日本京都府
国籍:JP
代理机构:北京银龙知识产权代理有限公司
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