（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201710104039.1 （22）申请日 2017.02.24
（71）申请人 安华高科技通用IP(新加坡)公司
地址 新加坡新加坡市
（10）申请公布号 CN107134988A
（43）申请公布日 2017.09.05
（72）发明人 理查德·C·鲁比;斯蒂芬·罗伊·吉尔伯特;约翰·D·拉森三世 （74）专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 林斯凯
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
表面声波(SAW)谐振器
（57）摘要
本发明涉及表面声波saw谐振器。一种设
备包含：硅Si衬底，其具有第一表面及第二表面，所述硅衬底在室温下具有大于约1000Ω‑cm且小于约15000Ω‑cm的电阻率；及压电层，其安置在所述衬底上方且具有第一表面及第二表面。所述压电层可具有在约0.5μm到约30.0μm的范围内的厚度且基本上不含铁Fe。
法律状态
法律状态公告日
2017-09-05 2017-09-05 2017-09-05 2018-11-16 2018-11-16 2019-03-29
公开 公开 公开
法律状态信息
公开 公开 公开
法律状态
专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 实质审查的生效
专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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