专利名称:一种瞬态电压抑制器及其制作方法专利类型:发明专利发明人:不公告发明人申请号:CN201811093615.8申请日:20180919公开号:CN109360822A公开日:20190219
摘要:本发明提供一种瞬态电压抑制器及其制作方法,包括:在第一导电类型的衬底中形成第一沟槽和第二沟槽;形成第二导电类型的外延层,包括形成于所述衬底上表面的第一部分,以及分别形成于所述第一沟槽和所述第二沟槽内形成的第二部分;在所述衬底和所述外延层交界处形成覆盖所述第一沟槽和所述第二沟槽上表面,以及所述第一沟槽和所述第二沟槽之间的所述衬底上表面的第一介质层;在所述衬底内形成覆盖所述第一沟槽下表面的第二介质层以及覆盖所述第二沟槽下表面的第三介质层,所述第二介质层和所述第三介质层分别沿着相互背离的方向延伸至所述外延层边缘;在所述外延层上表面形成第一电极;在所述衬底下表面形成第二电极,从而降低了器件制造成本。
申请人:盛世瑶兰(深圳)科技有限公司
地址:518000 广东省深圳市罗湖区桂园街道宝安南路3042号天地大厦21楼2113
国籍:CN
代理机构:深圳市知顶顶知识产权代理有限公司
代理人:马世中
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