专利名称：从晶圆转移晶片的方法和装置专利类型：发明专利
发明人：S·M·亚当斯,K·A·吉斯克斯申请号：CN201180007422.6申请日：20110127公开号：CN102844855A公开日：20121226
摘要：这里公开了一种从晶圆转移晶片的方法，包括利用多心轴吸取头部从晶圆吸取两个或多个晶片，其中所述多心轴吸取头部是可转动的。本方法还包括将所述多心轴吸取头部从晶圆进给器移动到置放机，和将两个或多个被吸取的晶片呈现到置放机用于随后进行置放。这里还公开了一种从晶圆转移晶片的装置，包括带有多个心轴的吸取头部。每个心轴被配置用于从晶片的晶圆吸取晶片。所述多心轴吸取头部是在至少一个方向上可转动和可移动的。
申请人：UI控股公司
地址：美国纽约
国籍：US
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：蔡胜利
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