专利名称：一种点衍射三维绝对位移测量方法专利类型：发明专利
发明人：王道档,王福民,邹慧,刘维,郭天太,孔明,赵军申请号：CN201310183535.2申请日：20130515公开号：CN103267485A公开日：20130828
摘要：本发明公开了一种点衍射三维绝对位移测量方法。首先利用CCD光电探测器采集由测量探头产生的两列相干球面波得到的干涉场，利用快速傅里叶变换(FFT)方法直接对单幅干涉图进行处理，从而解调出干涉场的相位信息分布，在利用所得相位信息分布的基础上，选取多个像素点出的相位值，组成非线性超定方程组，运用高斯牛顿迭代算法重构出测量探头两球面波出射端的三维坐标，并取两球面波出射端的中心坐标作为测量探头的三维坐标，进而得到被测目标的三维绝对位移量。本发明为三维绝对位移的无导轨测量提供了一种高精度的测量方法，在光学测量技术领域里具有重要应用价值。
申请人：中国计量学院
地址：310018 浙江省杭州市江干经济开发区学源街
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
代理人：张法高
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