专利名称：A vacuum pumping system and method of
controlling the same
发明人：Savidge, Derek Graeme Madgewick,Turner,
Neil,Huntley, Graeme
申请号：EP03253197.2申请日：20030522公开号：EP1367260A3公开日：20040331
专利附图：
摘要：Array
申请人：The BOC Group plc
地址：Chertsey Road Windlesham Surrey GU20 6HJ GB
国籍：GB
代理机构：Edwards, David Harvey Lloyd (GB)
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