专利名称：一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构专利类型：实用新型专利发明人：王群
申请号：CN202021867030.X申请日：20200901公开号：CN213023939U公开日：20210420
摘要：本实用新型公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体和控制箱，所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴，所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套，所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴，所述第二阻尼转轴的表面转动连接有第二转动套，所述第一转动套的表面固定连接有伸缩管。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置锁紧装置和开关按钮，便于按动开关按钮使线圈带电，同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌，使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出，从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。
申请人：江苏九迪激光装备科技有限公司
地址：210000 江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容