专利名称：一种介质阻挡放电石墨烯制备装置及制备方法专利类型：发明专利
发明人：张波,金旭栋,虞文武,马雯雯,高之涵申请号：CN202010245255.X申请日：20200331公开号：CN111484003A公开日：20200804
摘要：本发明提出了一种介质阻挡放电石墨烯制备装置及制备方法，属于石墨烯制备技术领域。解决了现有石墨烯的制备难以在大气压下进行，同时存在污染和材料缺陷的问题。它包括等离子体处理室、气体供给系统、电源系统和检测分析系统，等离子体处理室采用卧式平板电容结合介质阻挡放电的结构，等离子体处理室包括上电极、石英介质、云母片和下电极，上电极和下电极分别与电源系统两端相连，上电极和下电极之间为放电区域，石英介质表面沉积有钯膜，石英介质与电极相连，云母片一侧沉积单分子碳膜，另一侧沉积金膜，云母片沉积金膜侧与下电极相连，气体供给系统与等离子体处理室，向等离子体处理室内供给气体。它主要用于石墨烯的制备。
申请人：常州机电职业技术学院
地址：213164 江苏省常州市武进区鸣新中路26号
国籍：CN
代理机构：哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司
代理人：李恩庆
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