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制造衍射光栅元件的方法[发明专利]

2022-09-21 来源:爱问旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:制造衍射光栅元件的方法专利类型:发明专利发明人:P·拉科南,T·勒沃拉申请号:CN200580052106.5申请日:20051118公开号:CN101313234A公开日:20081126

摘要:一种光学衍射光栅(10)通过提供具有多个倾斜凹槽(58)的模具(50)来制造,所述倾斜凹槽(58)具有小隙角(γ)。模具(50)被可固化材料(M1)覆盖。所述材料随后被固化,即,被硬化,并从模具(50)分离以提供衍射光栅(10)。凹槽(58)的倾斜方向允许光栅在固化和分离步骤期间膨胀或收缩,以使模具损坏的可能性可被降低。凹槽的倾斜方向也可以便于光栅(10)从模具(50)的分离。

申请人:纳诺科普有限公司

地址:芬兰列莫

国籍:FI

代理机构:北京安信方达知识产权代理有限公司

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