专利名称：用于检测光掩模形状不一致断裂的方法和设备专利类型：发明专利发明人：C·P·耶普,J·T·诺盖奇申请号：CN200980000220.1申请日：20090304公开号：CN101681126A公开日：20100324
摘要：本发明的一个实施方式提供了一个系统，用于检测被断裂为与期望配置不同的基本形状的配置的给定形状的出现。该系统选择给定形状的断裂形状实例，其中将给定形状的其他断裂形状实例与之比较。作为比较过程的一部分，系统产生包括掩模图形描述中与所选断裂形状实例中的至少一个基本形状匹配的基本形状的已过滤掩模图形描述。接下来，系统从已过滤掩模图形描述中识别与给定形状匹配的第一形状出现组，并且从掩模图形描述中识别与给定形状匹配的第二形状出现组。系统然后通过在第一形状出现组和第二形状出现组之间执行异或比较产生第三形状出现组。
申请人：新思科技有限公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京市金杜律师事务所
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容