专利名称：MOCVD尾气处理系统及其方法专利类型：发明专利
发明人：宋景锋,傅华,王辉,蔡金,王怀兵申请号：CN201410062339.4申请日：20140224公开号：CN103846001A公开日：20140611
摘要：本发明揭示了一种MOCVD尾气处理系统及其处理方法，所述系统包括用于过滤尾气中的粉尘过滤器，缓冲罐的进口端与过滤器出口端连接，用于稳定进入后续装置的尾气的气体总量；反应炉的进口端与缓冲罐的出口端连接，纯化器的进口端与反应炉的出口端连接。反应后的尾气进行过滤后依次进入到缓冲罐、反应床和纯化器，经过设置有催化剂的反应床将尾气中的氨气分解，再通过纯化器对气体中的氢气进行进一步的纯化，本发明的有益效果主要体现在：通过反应床内对尾气中的氨气进行分解，尾气中氨气的转化率可高达99%以上，最终形成氮气和氢气，进行二次利用、收集，尾气处理效果好。
申请人：苏州新纳晶光电有限公司
地址：215021 江苏省苏州市苏州工业园区苏虹东路388号
国籍：CN
代理机构：南京苏科专利代理有限责任公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容