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n型掺杂ZnS准一维纳米结构薄膜光电导型紫外探测器及制备方法[发明专利]

2021-04-14 来源:爱问旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:n型掺杂ZnS准一维纳米结构薄膜光电导型紫外探

测器及制备方法

专利类型:发明专利

发明人:于永强,揭建胜,蒋阳,朱志峰,江鹏申请号:CN201110176236.7申请日:20110628公开号:CN102280515A公开日:20111214

摘要:本发明公开了n型掺杂ZnS准一维纳米结构光电导型紫外探测器及制备方法,其特征是紫外探测器自上而下依次由叉指电极,n型掺杂ZnS准一维纳米结构薄膜和绝缘衬底迭置而成。本发明紫外探测器以n型掺杂ZnS准一维纳米结构薄膜为紫外敏感层,使其只对小于335nm波长光敏感,利用透明叉指电极和纳米结构薄膜增强了受光面积,提高了紫外光响应度,同时使用ZnS做为光敏材料,环保可靠。本发明结构简单,灵敏度高,成本低,易于实现。

申请人:合肥工业大学

地址:230009 安徽省合肥市屯溪路193号

国籍:CN

代理机构:安徽省合肥新安专利代理有限责任公司

代理人:何梅生

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