专利名称：一种多焦点仿生复眼结构的成形方法专利类型：发明专利
发明人：曹阿秀,史立芳,邓启凌,张满,庞辉申请号：CN201710219871.6申请日：20170406公开号：CN106842388A公开日：20170613
摘要：本发明公开了一种多焦点仿生复眼结构的成形方法，涉及微细加工，仿生复眼等领域。该方法主要步骤为：(1)基材的选择以及光刻胶旋涂；(2)移动掩模曝光，实现平面连续面形多焦点复眼结构的光刻胶成形；(3)将平面多焦点复眼光刻胶结构刻蚀传递到基材上；(4)基于基材上多焦点复眼结构，制备与之互补的柔性多焦点复眼结构模板；(5)引入光固化材料，利用曲率相互匹配的结构装置，将平面多焦点仿生复眼结构信息转移变换为曲面结构，形成一体化的多焦点仿生复眼结构。
申请人：中国科学院光电技术研究所
地址：610209 四川省成都市双流350信箱
国籍：CN
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