专利名称：MEMS可靠性评估方法专利类型：发明专利发明人：任艳
申请号：CN201510310139.0申请日：20150605公开号：CN104915558A公开日：20150916
摘要：本发明涉及一种MEMS可靠性评估方法，上述MEMS可靠性评估方法，包括如下步骤：获取MEMS的悬臂梁失效率、芯片失效率以及封装失效率；对MEMS内的元器件进行测量，获取所述MEMS的振动系数、温度系数、温度幅值系数、循环率系数；根据所述悬臂梁失效率、芯片失效率、封装失效率、振动系数、温度系数、温度幅值系数、循环率系数代入设定的评估模型获取MEMS的可靠性。本发明提供的MEMS可靠性评估方法，通过获取MEMS的悬臂梁失效率、芯片失效率以及封装失效率；并对MEMS内的元器件进行测量，获取所述MEMS的振动系数、温度系数、温度幅值系数、循环率系数，进一步评估MEMS的可靠性，使MEMS可靠性的评估无需经过通过大量试验，可以有效提高评估的效率。
申请人：工业和信息化部电子第五研究所
地址：510610 广东省广州市天河区东莞庄路110号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：周清华
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