专利名称：线锯装置及工件的切断方法专利类型：发明专利发明人：宇佐美佳宏
申请号：CN201780027731.7申请日：20170630公开号：CN109153104A公开日：20190104
摘要：本发明为一种线锯装置，包含：伸出钢线的钢线供给轴盘、通过螺旋状缠绕于多个钢线导线器的周围的钢线而形成的钢线列、卷收钢线的钢线卷收轴盘、以及将切断目标的工件予以支承的工件支承部，此外于将被工件支承部所支承的工件予以推压至以至少重复前进后退1次以上而行进的钢线列进行切断加工，其中该线锯装置具备装设于工件支承部的振动传感器，以及检测钢线张力的荷重元。由此提供能透过于工件的切断之前判断发生钢线过紧或线锯装置异常振动的状态，而防止自工件切出的晶圆质量恶化的线锯装置及工件的切断方法。
申请人：信越半导体株式会社
地址：日本东京都千代田区大手町二丁目2番1号
国籍：JP
代理机构：北京京万通知识产权代理有限公司
代理人：许天易
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容