一、 实验目的
1、理解激光焊接的基本原理及特点，熟悉运用激光进行金属焊接的具体过程。
2、 观察CO2 与YAG 两种激光器的焊接过程，理解其焊接方式的条件及形成机理。
3、掌握激光焊接机床及机械手的基本操作步骤和方法，能够进行简单的焊接操作。
4、掌握金相测量方法，观察和记录焊接实验现象，测量熔深、熔宽，并对焊接结果进行合理分析。
5、了解激光焊接的应用。 二、 实验原理 2.1 激光焊接原理
激光焊接采用连续或脉冲激光束实现，激光焊接的原理可分为热传导型焊接和激光深熔焊接。功率密度小于104 ~105 W/cm2 为热传导焊，此时熔深浅、焊接速度慢；功率密度大于105 ~107W/cm2 时，金属表面受热作用下凹成“孔穴”，形成深熔焊，具有焊接速度快、深宽比大的特点。图1 是CO2 激光器焊接结构图。
图1 CO2 激光器焊接结构图
在焊接金属的过程中，随着激光功率密度提高，材料表面会发生一系列变化，其包括表面温度升高、熔化、气化、形成小孔并出现光致等离子体。不同功率密度激光焊接金属材料时的主要过程如图2所示。当激光功率密度小于104W/cm2数量级时，金属吸收激光能量
只引起材料表层温度的升高，并没有发生熔化。当功率密度在大于10W/cm小于10W/cm数量级范围内时，金属料表层发生熔化。功率密度达到106W/cm2数量级时，材料表面在激光束的作用下发生气化，在气化反冲压力的作用下，液态熔池向下凹陷形成深熔小孔。同时，伴随有金属蒸汽电离形成光致等离子体的现象。当功率密度大于107W/cm2时，光致等离子体将逆着激光束的入射方向传输，形成等离子体云团，出现等离子体对激光的屏蔽现象。
4262
图2 不同功率密度激光辐照金属材料的主要物理过程
2.2激光焊接模式
根据是否产生小孔效应可以把激光焊接分为两种模式，即热导焊模式和深熔焊模式。
2.2.1、 激光热传导焊接
激光加热加工表面，表面热量通过热传导向内部扩散，通过控制激光脉冲的宽度、能量、峰值功率和重复频率等激光参数，使工件熔化，形成特定的熔池，如图3（a）所示。当焊接熔池在金属蒸汽反冲压力作用下向下凹陷形成深熔小孔后，材料对激光的吸收将发生突变。材料的吸收率将不再仅与激光波长、金属特性和材料表面状态有关，而主要取决小孔效应和等离子体与激光的相互作用等因素，此时焊接模式由热导焊接转变为深熔焊接。
2.2.2、 激光深熔焊接
激光深熔焊接一般采用连续激光光束完成材料连接，其冶金物理过程与电子束焊接极为相似，即能量转换机制是通过“小孔”结构来完成的。在足够高的功率密度激光照射下，材料产生蒸发并形成小孔。这个充满蒸汽的小孔犹如一个黑体，几乎吸收全部的入射光束能量，孔腔内平衡温度达2500°C 左右，热量从这个高温孔腔外壁传递出来，使包围着这个孔腔四周的金属熔化。小孔内充满在光束照射下壁体材料连续蒸发产生的高温蒸汽，小
孔四壁包围着熔融金属，液态金属四周包围着固体材料（而在大多数常规焊接过程和激光传导焊接中，能量首先沉积于工件表面，然后靠传递输送到内部）。孔壁外液体流动和壁层表面张力与孔腔内连续产生的蒸汽压力相持并保持着动态平衡。光束不断进入小孔，小孔外的材料在连续流动，随着光束移动，小孔始终处于流动的稳定状态。也就是说，小孔和围着孔壁的熔融金属随着前导光束前进速度向前移动，熔融金属填充着小孔移开后留下的空隙并随之冷凝，焊缝于是形成，如图3（b）所示。上述过程的所有这一切发生得如此快，使焊接速度很容易达到每分钟数米。
a 激光热导焊示意图 b 激光深熔焊示意图
图3 激光焊接原理图
2.3激光束自聚焦过程
激光束作用金属材料表面时，在低功率密度情况下，金属材料对激光的吸收仅发生在表面很薄区域内，使表面温度升高。当激光功率达到材料蒸发所需的临界功率密度时，金属表面开始发生蒸发。随着激光功率密度的升高，蒸发产生的压力增大，熔池的下陷深度增加，同时，熔池表面的曲率半径将减小，如图4所示。由于熔池表面下陷，形成凹坑，导致激光束辐照在熔池上的入射角发生改变，凹陷的熔池使入射激光经反射后汇聚于熔池底部，更高的功率密度促使熔池底部金属蒸发加剧，产生的反冲压力升高，促使熔池进一步下陷。当材料的蒸发压力达到某一临界值时，蒸汽产生的反冲压力使下陷的熔池陡然形成小孔，焊接深度跳跃式增长，材料对激光的吸收率将急剧增加，形成激光深熔焊接。
图4 激光束自聚焦示意图
2.4激光焊接的工艺参数
激光焊的主要工艺参数包括脉冲能量、脉冲宽度（脉宽）、脉冲形状、功率密度以及离焦量或焦点位置等。 2.4.1 功率密度
对于不同的激光焊接，存在一个激光能量密度阈值，低于此值，熔深很浅，一旦达到或超过此值，熔深会大幅度提高。只有当工件上的激光功率密度超过阈值，等离子体才会产生，这标志着稳定深熔焊的进行。如果激光功率低于此阈值，工件仅发生表面熔化，也即焊接以稳定热传导型进行。而当激光功率密度处于小孔形成的临界条件附近时，深熔焊和传导焊交替进行，成为不稳定焊接过程，导致熔深波动很大。在传导型激光焊接中，功率密度在范围在104~106W/cm2，在激光深熔焊接的功率密度在108~1010W/cm2。 2.4.2 激光脉冲波形
当高强度激光束射至材料表面，金属表面将会有60~98%的激光能量反射而损失掉，且反射率随表面温度变化，在一个激光脉冲作用期间内，金属反射率的变化很大。
2.4.3 激光脉冲宽度
脉宽是脉冲激光焊接的重要参数之一，它既是区别于材料去除和材料熔化的重要参数，也是决定加工设备造价及体积的关键参数。 2.4.4 离焦量
激光焊接通常需要一定的离焦量，因为激光焦点处光斑中心的功率密度过高，容易蒸发成孔。离开激光焦点的各平面上，功率密度分布相对均匀。离焦方式有两种：正离焦与负离焦。在实际应用中，当要求熔深较大时，采用负离焦；
焊接薄材料时，宜用正离焦。如图5所示。
图5 激光束的离焦量定义
2.4.5 材料吸收值
材料对激光的吸收取决于材料的一些重要性能，如吸收率、反射率、热导率、熔化温度、蒸发温度等，其中最重要的是吸收率。影响材料对激光光束的吸收率的因素包括两个方面：首先是材料的电阻系数，经过对材料抛光表面的吸收率测量发现，材料吸收率与电阻系数的平方根成正比，而电阻系数又随温度而变化；其次，材料的表面状态（或者光洁度）对光束吸收率有较重要影响，从而对焊接效果产生明显作用。
2.4.5.1 波长对吸收率的影响
金属的吸收率A与激光波长λ和金属的直流电阻率ρ存在如下关系：
A0.365。从图6中得：固体金属表面对激光的反射性较强，这是因为金属
对激光的吸收主要是通过大量自由电子的带间跃迁实现的，自由电子受光波中强烈的电磁波的影响强迫振动而产生次波，次波又造成强烈的反射波和比较弱的透射波。因此，金属的电导率越高，其反射率也越高。
图6 室温下不同金属对不同波长激光的吸收率
2.4.5.2 温度对吸收率的影响
随着温度升高，在激光作用下金属的吸收率与温度的关系可由下面的公式描述：
A(T ) = A0 +r (T -T0 )，从理论上，材料对激光的吸收率随温度的升高而增
大，金属材料在室温下的吸收率都比较小，当金属温度达到熔点产生熔融和气化后，吸收率上升到40~50%；当接近沸点时吸收率可高达90%，激光功率越大、作用时间越长，金属的吸收率越高。
2.4.5.3 表面粗糙度对吸收率的影响
材料的表面状况如：粗糙度、氧化层和缺陷等对激光的反射率影响很大。因此增大材料表面粗糙度可以提高材料对激光的吸收率。当粗化表面微观不平度达到波长量级左右时，材料对激光的吸收率变化较大。但随着温度的升高，这种现象将减少，甚至为零。 2.4.6 焊接速度
焊接速度对熔深影响较大，提高速度会使熔深变浅，但速度过低又会导致材料过度熔化、工件焊穿。所以，对一定激光功率和一定厚度的某特定材料有一个合适的焊接速度范围，并在其中相应速度值时可获得最大熔深。
2.4.7 保护气体
保护气体的作用：
ⅰ、 激光焊接过程常使用惰性气体来保护熔池，当某些材料焊接可不计较表面氧化时则也可不考虑保护，但对大多数应用场合则常使用氦、氩、氮等气体作保护，使工件在焊接过程中免受氧化。
ⅱ、 保护聚焦透镜免受金属蒸汽污染和液体熔滴的溅射。特别在高功率激光焊接时，由于其喷出物变得非常有力，此时保护透镜则更为必要。
ⅲ、 驱散高功率激光焊接产生的等离子屏蔽。金属蒸汽吸收激光束电离成等离
子云，金属蒸汽周围的保护气体也会因受热而电离。如果等离子体存在过多，激光束在某种程度上被等离子体消耗。等离子体作为第二种能量存在于工作表面，使得熔深变浅、焊接熔池表面变宽。通过增加电子与离子和中性原子三体碰撞来增加电子的复合速率，以降低等离子体中的电子密度。中性原子越轻，碰撞频率越高，复合速率越高；另一方面，只有电离能高的保护气体，才不致因气体本身的电离而增加电子密度。
从表可知，等离子体云尺寸与采用的保护气体不同而变化，氦气最小，氮气次之，使用氩气时最大。等离子体尺寸越大，熔深则越浅。造成这种差别的原因首先由于气体分子的电离程度不同，另外也由于保护气体不同密度引起金属蒸汽扩散差别。
三、 实验设备和实验材料 3.1 实验设备及其参数 3.1.1 CO2 激光器焊接系统
Rofin? Slab DC035——CO2激光器。配备六轴联动激光三维加工系统(ARNOLD)，参数如下：
脉波长λ 焦距f 冲频率 最大 功率 光束 模式 焦斑 加工范围 直径 0～10.6μm 300mm kHz 5 3500W TEM00 0.286 mm 3000mm×2000mm×1000mm×±120o×n360o×n360o 3.1.2 Nd：YAG 激光器焊接系统
Rofin? CW025 ——YAG激光器。配备五轴联动机械手，参数如下：
波长λ 焦距f 脉冲频率 最大功率 光纤长度 焦斑直径 10.6μm 120mm 0～1kHz 2500W 10m 0.29mm 3.2 实验材料
CO2 激光器焊接：45#低碳钢（6mm 厚），6061 铝合金。
Nd:YAG 激光器焊接：316L不锈钢，6061 铝合金。
金相：5%硝酸、10% NaOH 溶液。 四、 实验方法 4.1 焊接实验
焊接方式采取平板焊接方式，焊接过程中依次增大激光器功率，对比不同的金属材料（低碳钢，铝合金）在不同功率下对焊接过程实现想象及结果。实验过程中仔细观察实验现象，如激光焊接时的颜色、声音和产生的火花现象。实验过
程中严格记录实验数据、实验现象，由于两种激光对人眼均有伤害，实验过程中必须严格遵守相应安全守则。
4.2 实验过程及实验结果
4.2.1 CO2激光器焊接实验
用3500W 的CO2 激光器对45#低碳钢，6061 铝合金进行焊接，焊接过程都采用He气保护，气体流量15L/min，用焦距300mm 透镜聚焦将光斑汇聚到280um，正离焦焊接，焊接速度为2m/min。
A、 45#低碳钢钢焊接
将功率从500W 开始逐步增加至3500W，共选取11个功率点进行焊接。将实验现象及数据记入表2，激光功率/功率密度与熔深、熔宽的关系见图7、8。
B、 铝合金6061 焊接功率从1200W 开始逐步增加至3500W，共选取13 个功率点进行焊接。将实验现象及数据记入表3，激光功率/功率密度与熔深、熔宽的关系见图9、10。
4.2.2 YAG激光器316L不锈钢焊接实验
用2500W的YAG激光器对45#低碳钢进行焊接，根据试样规格对机械手进行调试，设定焊接实验程序。保护气体采用4bar的Ar气，焊接速度为2m/min。采用F=120mm透镜，光斑为0.6mm.焊接过程中先通保护气体再开光，由于YAG 激光对人眼有很大伤害，焊接过程中必须佩戴防护眼镜。
A、316L不锈钢焊接
焊接功率从600W逐渐变化到1600W，共11个功率点。将实验现象及数据记入表4，激光功率/功率密度与熔深、熔宽的关系见图11、12。
B、铝合金6061焊接
焊接功率从600W逐渐变化到1200W。将实验现象记入表5。
4.3 金相分析实验
选取适当位置切割试样，并进行研磨、腐蚀，之后在光学显微镜下观察焊缝熔宽、熔深及焊缝中的缺陷，选择合适的测量标准记录数据。
实验过程：
选取适当位置在切割机上进行切割，在本次实验中对每一块试样进行两次切割，并选取3~4 个截面进行细致研磨，将磨好后的试样进行腐蚀，其中45#低碳钢选择5%硝酸、酒精混合溶液，铝合金采用NaOH 溶液，腐蚀时间大概1~5min。试样处理好后，在光学显微镜下对焊缝的熔宽、熔深及焊缝中的宏观缺陷进行测量，将各组实验数据记录并整理记入表2、3、4。 五、 实验结果及分析
n由测量中采用35 格为1mm，根据实验数据，利用公式
Xknkn1n35n计算不同功
率情况下熔深、熔宽的平均值，其中X为平均熔深或熔宽，下的格子数，为n测量点的数目。
为第n 个测量点
功率转化为功率密度的公式为：
spr2，其中S 为功率密度， P 为激光功
率，r 为光斑半径。利用excel绘出各焊接条件下熔深、熔宽与激光功率（功率密度）之间的关系曲线（以激光器的功率（功率密度）为横坐标，试样的熔深和熔宽的长度为纵坐标），通过观察曲线中熔深和熔宽的变化，确定阈值范围，进而进行实验分析。 5.1 CO2 激光器焊接实验
5.1.1 45#低碳钢钢焊接实验现象，结果及分析：
表2 CO2 焊接45#低碳钢熔深、熔宽与功率（功率密度）的实验数据及实验现象
激光 编功率 号 （W） (W/cm2) 功率密度实验现象 熔深（mm） 熔宽（mm） 微弱黄光,无1 500 812427 飞溅 0.31 0.49 2 600 974912 黄光,无飞溅 0.74 0.49 3 700 1137398 先黄光，后蓝白光,开始有0.91 0.69 飞溅 蓝白光, 飞4 800 1245282 溅开始增多 1.2 0.69 蓝白光, 飞5 900 1462368 溅增多 1.46 0.77 先蓝白光，后6 1000 1624854 白光, 飞溅增多 1.74 0.77 先蓝白光，后7 1500 2437281 白光, 飞溅增多 2.6 1 白光, 飞溅8 2000 3249708 开始减少 3.54 1 白光, 飞溅9 2500 4062134 减少 3.89 1.17 10 3000 4874561 强烈白光, 4.57 1.23 飞溅消失 强烈白光, 11 3500 5686988 产生气团 5 1.34 图7 熔深、熔宽与功率的关系曲线
图8 熔深、熔宽与激光功率的关系曲线
从表2 中及图7、8 中可以看出在保护气体为He，焊接速度保持在2m/min 的情况下，随着激光功率密度的提高，45#钢的材料表面会发生一系列变化，包括表面温度升高、熔化、气化、形成小孔并出现光致等离子体，同时声音也逐渐增大，飞溅增强，光亮加深，光亮刺眼更强且刺眼体积部分变大。当激光功率密度小于600W(功率密度为9.7×105W/cm2)，曲线变化比较平缓，金属吸收激光能量只引起材料表层温度的升高及表层发生熔化。功率密度到达700W(功率密度为1.137×106W/cm2)时，曲线变化加快，材料表面在激光束的辐照下发生气化，在气化反冲压力的作用下，液态熔池向下凹陷形成深熔小孔，熔深、熔宽较之600W 的焊接点有显着提高，即发生了跳变，在此之后，随着激光功率的增加，熔深与熔宽之比也有较大幅度的提高。根据激光焊接模式原理，我们得知在功率密度为1.137×106 W/cm2 之前，属于热传导过程，即焊接类型为热导焊，而在该临界点（阈值）后，熔池深宽比增大，这时焊接类型为深熔焊。
5.1.2 铝合金6061 焊接实验现象及结果
表3 CO2焊接6061铝合金熔深、熔宽与功率（功率密度）的实验数据及实验现象
编号 功率（w） 功率密度（w/cm2） 实验现象 熔深/mm 熔宽/mm 1 黄光，光点很小，无飞1000 1624854 溅 0 0 2 黄光，光点很小，无飞1200 1949825 溅 0 0.14 3 黄光，光点较大，无飞1400 2274795 溅 0 0.17 4 先黄光，后绿光，无飞1600 2599766 溅 0 0.2 5 黄光、绿光间杂出现，1800 2924737 无飞溅 0 0.29 6 黄光、绿光间杂出现，2000 3249708 开始有飞溅 0 0.29 7 2200 3574678 出现绿光，飞溅较多 0 0.29 8 出现绿光，后消失，飞2400 3899649 溅逐渐增多 2.11 2.2 9 出现绿光，后消失，飞2600 4224620 溅逐渐增多 2.14 2.23 10 瞬间绿光，后为黄光，2800 4549591 飞溅增多 2.29 2.63 11 绿光，后黄光变强，飞3000 4874561 溅增多 2.4 2.71 12 绿光，后黄光变强，飞3300 5362017 溅增多 2.71 2.71 13 黄色亮光更强有火花，3500 5686988 飞溅增多 3.03 2.94 图9 熔深，熔宽与功率的关系曲线
图10 熔深，熔宽与功率密度的关系曲线
在对铝合金6061 的焊接中，由表3，图9、10 知，激光功率在1000W~2200W 的七个焊接点时，熔深熔宽较小，表面仅有细微变化，在激光功率为2200~2400W、功率密度为3.575×106W/cm2~3.900×106 W/cm2时，熔深、熔宽有了大幅度提升（突变），可见阈值范围在3.900×106 W/cm2 附近，即阈值之前为热导焊、阈值之后为深熔焊。在激光功率为2200W~3500W、功率密度为3.575×106 W/cm2~5.687×106 W/cm2时，熔深熔宽的深度及宽度增长，即在一定条件范围内，随着功率的增加，焊接深度增加。
5.2 YAG 激光器316L 不锈钢焊接实验 5.2.1 45#低碳钢钢焊接
表4 固体Nd：YAG 激光器焊接316L 不锈钢熔深，熔宽与功率(功率密度)的实验
数据
编号 功率(W) 功率密度(W/cm2) 实验现象 熔深(mm) 熔宽(mm) 1 400 141471.0605 黄色亮点 0.2 0.857143 2 500 176838.8257 亮点渐渐变亮 0.2 0.714286 3 600 212206.5908 亮点变亮 0.257143 0.828571 4 700 247574.3559 亮点变亮 0.285714 0.8 5 800 282942.1211 亮点变亮 0.414286 0.8 6 900 318309.8862 亮点变亮 0.485714 0.842857 7 1000 353677.6513 亮点变亮 0.557143 0.885714 8 1100 389045.4164 亮点变亮 0.6 0.885714 9 1200 424413.1816 亮点变亮 0.685714 0.9 10 1300 459780.9467 亮点变亮 0.828571 0.9 11 1400 495148.7118 亮点变亮 1.857143 1.357143 12 1500 530516.477 亮点变亮 1.971429 1.428571 图11 熔深，熔宽与功率的关系曲线
图12 熔深，熔宽与功率密度的关系曲线
在实验过程中可以观察到：随着激光功率的增加，光线逐渐变亮，伴随烟尘，蓝光的产生，并且声音逐渐增大。但焊接的整个过程中均无飞溅的产生。从表4，图11中我们可以看出，功率在增加过程中，焊接的熔深、熔宽均随之增加。如图11、12 所示，当激光加工功率在1300W~1400W（功率密度为0.460×106W/cm2~0.495×106W/cm2）之间时，焊缝的深度，宽度以及深宽比有大幅度提高，而在此之前的都比较小，因此我们推算功率的阈值约1300W~1400W 中间值1350W 左右，功率密度阈值约为0.478×106W/cm2 左右。即在临界点之前可认为焊接类型为热导焊，之后为深熔焊。
5.2.2 铝合金6061 焊接
固体Nd：YAG 激光器焊接6061 铝合金无实验数据，实验过程现象如表5 所示
编号 激光功率（W） 实验现象 1 600 焊缝、火苗小，亮点小，无飞溅，无声音 2 800 焊缝增宽、火苗增大，亮点增大，无飞溅，无声音 3 1000 焊缝增宽、火苗增大，亮点增大，无飞溅，无声音 4 1200 焊缝增宽、火苗增大，亮点增大，无飞溅，无声音 5 1400 焊缝增宽、火苗增大，亮点增大，无飞溅，无声音 6 1600 焊缝增宽、火苗增大，亮点增大，无飞溅，无声音 7 1800 焊缝增宽、火苗增大，亮点增大，细小飞溅，无声音 8 2000 焊缝增宽、火苗增大，亮点增大，细小飞溅，无声音 因没有切割和分析试样，焊接的深度，宽度随功率变化的数据没有，也就没有他们之间的曲线关系。但理论上，整个过程均没有出现深熔焊，即均为热导焊，且随着激光功率的增加，熔深和熔宽应该会有小幅度的提升或变化。 六、 实验结论
通过对四次实验数据的分析和对比，我们得到以下结论：
1、在任何一种焊接方式下，随着激光功率(功率密度)的增加（其他各条件保持不变），焊缝的熔深与熔宽都随之增大，即焊缝的尺寸与功率成正相关。其中在达到某一特定功率密度时，焊缝的尺寸会大幅度增加，深宽比也显着增大，我们认为此时的功率密度即为热导焊向深熔焊转变的阈值。
2、由于材料本身的性质，如粗糙度、对波长吸收率等特性，不同类型的金属焊接的结果也有所不同。如在本次实验中，铝合金对激光的吸收率较之45#低碳钢较低，一方面由于铝合金对激光的反射较强导致吸收率下降，另一方面则由于铝合金比45#低碳钢更容易产生等离子体屏蔽的现象。
3、因受到光束质量的影响，CO2激光器的聚焦光斑尺寸比YAG激光器要小，因此相同功率时前者的功率密度较大，所以CO2激光器焊接质量要优于YAG。
光束质量测量方法
一、 实验目的
1、 了解测量光束质量的方法
2、 掌握基于空心探针测量原理的PROMETEC 公司的LASERSCOPE UFF100
大功率光束光斑质量检测仪的使用方法。
二、 实验原理
采用基于空心探针测量原理的PROMETEC 公司的LASERSCOPE UFF100 大功率光束光斑质量检测仪测量大功率CO2 激光器的光束质量。
如图13所示是空心探针探测法测量原理，这一方法过去是作为大功率激光光束光斑质量检测而提出的。由一个定速电机带动空心探针转动，探针一端有一个微孔，探针转动时微孔对光束(光斑)的某一横截面进行扫描，这样就可以获得激光功率(横截面分布)随时间变化的信息。探针是该仪器的关键部件，包括微孔、内光腔、反射镜等部分，微孔的大小由被测激光光束(光斑)的功率密度确定，直径约为20~50μm。在选择探针材料时要考虑到抗高功率的激光损伤，另外，为了实时在线测量，探针的直径应尽量小，使测量时的光能量损耗小于1%。入射光束通过微孔，通过探针的两个倾斜的反射镜反射到热释电探测器上，获得激光的强度。
图13 大功率激光器光束质量测量原理
三、 仪器介绍
测量仪包括传感器、机械装置、信号的提取与放大、控制电路、数据处理及显示等部分组成，其信号采集与处理系统原理图如图14所示。
图14 信号采集与处理系统
机械装置包括快速平动和高速转动两部分。快速平动装置是为了实现自动测量而设计的，其目的是使探针微孔在测量过程中能自动对准光束(光斑)的中心截面，平动装置由步进电机驱动精密丝杆，以保证位移精度。采用高速转动电机(1500r/min 以上)是为了提高探针的抗激光损伤阈值，并且测量到激光功率频率上限值由其最高转速确定。测量仪的工作是在高速单片机芯片80C320的控制下完成的。
热释电探测器的输出反映了入射激光功率的大小，将该信号转换成电压信号后，经放大、滤波处理，送A/D 转换器，转换成数字量后暂时保存在缓存中，测量结束后再通过RS232串行口传输到计算机，进行进一步的处理及显示。
仪器在测量过程中要求热释电探测器有很快的响应速度，在设计出的信号提取电路满足要求的同时，其前置运放的失调和噪声亦随之增大，因此设计了一个实时补偿电路。 四、 测量优点
1、直接对大功率激光器进行测量，提高了测量的准确性；
2、通过更换探测器可分别对大功率的CO2，或大功率的YAG 激光进行测量；
3、可实现在线测量或在位测量；
4、通过改变高速转动电机的速度，可以改变采样频率。
该测量仪器经过一段时间的试用，其工作稳定、测试结果准确可靠，可望填补在各种大功率激光器的应用场合不能测量激光功率的空白。
CO2 切割实验设计与结果
采用AutoCAD 设计图15 所示的图形如图所示：
图15 CO2 切割图样
致谢
感谢实验过程中张冬云，陈虹，杨胶溪，鲍勇等老师的耐心指导，感谢龙明亮、朱航鸥、韩欣欣、梁晓莉、孙若愚等同学一起协同合作，共同完成实验内容。
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