中芯国际集成电路制造(天津)有限公司验收评价报告

建设项目安全验收评价报告

1编制说明

1.1评价依据

1）中华人民共和国主席令第70号《中华人民共和国安全生产法》 2）劳动部令第3号《建设项目（工程）劳动安全卫生监察规定》 3）劳动部劳安字[1992]1号《建设项目（工程）职业安全卫生设施与技术措施验收办法》

4）国家安管局安监管技装字[2003]37号《安全评价通则》 5）国家安管局安监管技装字[2003]79号《安全验收评价导则》 6）天津市安管局津安监管字[2002]84号《天津市安全评价管理办法》

7）SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计规定》

8）国家、地方、行业有关劳动安全的法规、规定、规范和标准（详见附件1）

9）建设单位提供的《中芯国际集成电路制造（天津）有限公司项目》安全验收的相关资料。

10）中芯国际集成电路制造（天津）有限公司委托天津泰山安全科技有限公司进行《中芯国际集成电路制造（天津）有限公司项目》安全验收评价合同书。

1.2 评价目的及评价范围 1.2.1评价目的及评价内容

1）安全验收评价的目的是贯彻“安全第一，预防为主”的方针，为建设项目安全验收提供科学依据，对建设项目未达到安全目标的系统或单元提出安全补偿及补救措施，以利于提高建设项目本质安全程度，满足安全生产要求。 2）安全验收评价内容

①检查建设项目中安全设施是否已与主体工程同时设计、同时施工、同时交付生产和使用；评价建设项目及与之配套的安全设施是否符合国家有关安全生产的法规、规定和技术标准。

②从整体上评价建设项目的运行状态和安全管理是否正常、安全、可靠。

1.2.2评价范围

根据本项目安全验收评价技术服务合同书的规定内容，经与建设单位商定：对中芯天津芯片生产厂房、化学品库、污水处理站以及变配电站、锅炉房、油库、空压站、冷冻站、水泵房的设备、设施进行劳动安全验收评价。

由于公司对工艺及产品生产技术保密且芯片生产线工艺设备自动化程度高，人、机分离，安全性能高，据同行业生产实践，发生事故的可能性极小，对建设项目的总体劳动安全验收评价结果影响较小，应公司的要求，在芯片生产厂房劳动安全验收评价中，在危险危害因素辨识分析的基础上，仅对其危险性大的芯片生产的辅助设施进行劳动安全验收评价。

2 项目的基本情况

3 危险有害因素分析

3.1物质的危险危害

芯片生产过程中，使用多种化学物品，厂区内设有储存这些化学物品的化学品库，化学品种类达80种。按照GB13690-92《常用危险化学品的分类及标志》规定中对常用危险化学品，按其主要危险特性进行分类，该项目中使用的危险化学品有压缩气体和液化气体，易燃液体、氧化剂、有毒品、腐蚀品等类别，这些物质的主要危险危害为： 1）有毒有害气体（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏与空气混合遇明火易燃爆，有的可在空气中自燃，有的可致人中毒、冻伤、窒息、直至死亡。

2）易燃液体（如丙酮、异丙醇等）如泄漏、挥发与空气混合形成爆炸气体遇明火、热源可引发火灾爆炸。

3）氧化剂（如过氧化氢等）如泄漏与有机物还原剂、易燃物接触可引起火灾爆炸。

4）腐蚀品（如酸类、碱类等）如泄漏与人体接触可引起化学灼伤。

这些危险有害因素的主要物质理化特性，以及化学危险品的贮存、使用的危险性分析详见化学品库单元.

3.2设备设施的固有危险危害

生产设备多，且特种设备的种类、数量多。电气设备有110kV和10kV变配电站的变压器、配电柜、以及各厂房内用电设备及控制

系统；特种设备有燃气锅炉、空压设备、冷冻设备、压力容器及多种气瓶和厂内机动车辆；储存设备有储气罐、液氮罐、液氩罐、贮油设备、硫酸罐、氢氧化钠罐等。其主要危险因素有： 1）火灾爆炸

油罐如本身缺陷或安全装置失效或管理不善出现泄漏，遇明火可引发火灾、爆炸危险。

锅炉使用燃料是天然气，天然气为易燃易爆气体，一旦出现泄漏遇明火可引发火灾。当天然气与空气混合的浓度达到爆炸极限时遇点火源可引发爆炸危险。 2）物理爆炸

锅炉、压力容器（蒸发器、冷凝器、储气罐）设备、气瓶等，如设备有缺陷或超压安全附件失效或使用不当，可引发物理爆炸。 3）触电危险

变配电设备、电气线路、用电设备如产品质量不佳、绝缘性能不良或因运行不当、机械损伤、维修不善导致绝缘老化破损或设计、安装不规范，安全净距不足，或违章操作，均可能引发触电危险。如出现短路、过载、接触不良等，也可引发电气火灾危险。 4）静电危害

如火灾、爆炸危险环境内设备、管路防静电设计或施工不规范，或在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷不能及时消除，或使用有火花工具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。

5）高空坠落危险

凡2m以上各类高空作业点位，其梯、台、道、护栏等常规性防护措施不符合规范要求或损坏，可引发高空坠落危险。 6）车辆伤害

厂内各类运输车辆如车辆本身缺陷，或制动、音响、灯光等失效，道路状况不符合规定要求或误操作可引发车辆伤害。 7）机械伤害

空压站、冷冻站、水泵房、锅炉房的旋转、传动设备如无防护罩或损坏，可引发机械伤害。 8）灼伤

高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。

9）噪声危险

空压设备、泵类、风机等设备在运转时可产生噪声危害。

4评价方法的选取和评价单元的划分

4.1评价方法的选取

结合本项目建设内容及已做劳动安全预评价的实际，安全验收评价采用以下两种方法： 1）安全检查表（SCL）

依据国家、行业、地方相关法规、规定及技术标准，针对本工程存在的危险、危害因素，编制安全检查表，以查验项目在设计、施工、交付生产使用时，所采取的安全防护设施及技术措施的全面性和可靠性，并据此提出改进措施及建议。

2）专家现场询问，观察法（邀请公司专业技术人员参加、配合）。 4.2评价单元的划分

依据已确定的评价范围及建设内容的实际，本项目的安全验收评价划分如下评价单元。

1）总平面布置及常规安全防护设施安全评价单元 2）生产工艺及危险化学品使用安全评价单元 3）化学品库安全评价单元

4）超纯水制备设施系统安全验收评价单元 5）锅炉房安全验收评价单元

6）油罐区、冷冻机房、空压站、水泵房安全评价单元 7）污水处理站安全评价单元 8）供配电安全评价单元 9）安全生产管理安全评价单元

5 安全评价

5.1总平面布置及常规安全防护设施安全评价单元 5.1.1安全检查表

依据GB50187-93 《工厂企业总平面设计规范》、SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计规定》、GB4387-94《工业企业厂内铁路道路运输安全规程》、GBJ16-87《建筑设计防火规范》(2001版)、GB50074-2002《石油库设计规范》、GB2894-1996《安全标志》、GB16179-1996《安全标志使用导则》等相关法规、标准及现场状况编制总平面布置及常规安全防护设施安全检查表，检查项目及内容见表5.1.1-1。

表5.1.1-1 总平面布置安全检查表

检查结果 序号 1 厂址选择 检查项目及内容 依据法规 SJ30002-92 2.2.2 备注 厂址选择在全面考察，其自然和社会环境应优先选在工程地质、水文、气象条件符1.1 合安全卫生要求，交通便利，协作方便，环境较为清洁的地区。 厂址应位于生活区最小频率风向的上风1.2 侧，避免建在已建工厂烟囱主导风向的下风侧。 1.3 1.4 厂址应具有满足生产、生活及发展规划所需要电源和给排水条件。 厂址应与交通线路、车站、港口顺捷合理联接，厂所区尽量靠近公路干道。 √ 符合要求。 2.2.4 GB50187-93 2.0.5 GB50187-93 2.0.4 GB50187-93 2.0.11 SJ30002-92 2.3.2 √ √ √ √ 满足要求 交通便利。 七度设防。 按功能分为办公区、生产区、公用工程区、预留区。 1.5 地震断层和设防烈度低于九度地震区。 2 总平面布置 厂区应根据生产、工艺特点按功能分区布2.1 置。一般可分为厂前区、主要生产区、辅助生产区、仓库区和动力区。 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 SJ30002-92 2.3.5 GB50187-93 2.0.11 GB50187-93 4.2.2 SJ30002-92 2.3.15 GB50187-93 3.4.4 GB50187-93 4.3.4 GB50187-93 4.3.7 SJ30002-92 2.3.13 检查结果 √ 备注 由厂部办公楼、多层厂房、厂区主入口等2.2 组成的厂前区，宜置于厂区最小频率风向的下风侧。 2.3 布局应满足生产加工过程流程。 要求洁净的生产设施应布置在大气含尘浓2.4 度低、环境清洁地段。洁净厂房的布置应符合“洁净厂房设计规范”的规定。 变配电站宜位于负荷中心，或靠近主要用户。不受粉尘、水雾、腐蚀性气体影响。2.5 对于大容量的总降压站，尚应在其周围加设围墙。 空压站应位于空气洁净地段，避免靠近散2.6 发爆炸性、腐蚀性和有害气体的粉尘等场所。 锅炉房宜布置在厂区全年最小频率风向的上风侧。 √ 流程顺畅。 √ 符合要求。 总降变设在厂区西南角。各10kW变电站靠近负荷中心。 √ √ 2.7 √ 污水处理站应布置在厂区边缘地带，位于SJ30002-92 厂区全年最小频率风向的上风侧。应靠近2.3.16 2.8 污染源，远离水源构筑物及空调空气入口，GB50187-93 四周留有必要的卫生防护距离。 3.4.2 火灾危险性属于甲、乙、丙类液体燃料罐GB50187-93 区的布置，应远离明火或散发火花地点。 4.6.5 2.9 与耐火等级为2、3级厂房距离分别为GB50074-2002 20m、25m，与厂内主干道距离15m，与次4.0.8 干道距离10m。 化学危险品库，应布置在厂区最小频率风向的上风侧及边缘地区，应远离火源，并2.10 符合国家现行有关防火规范的规定，防火间距不应少于30m。 工厂主要建筑物宜呈南北向布置，建筑物2.11 的方位应保证室内有良好的朝向、采光和自然通风条件。 2.12 厂区出入口数量不宜少于2个。人流出入口与货流出入口分开设置。 SJ30002-92 2.3.12 SJ30002-92 2.3.3 GB50187-93 2.0.1 GB50187-93 4.7.4 SJ30002-92 2.3.20 √ ∽ 油罐区距锅炉房西侧外墙15.2m，距厂内道路6m。 √ 基本符合有关规定。 √ 条件良好。 √ 三个出入口，人、物分流。 厂区应进行绿化，应在道路及围墙沿线植树，空地上种植灌木，乔木和草皮，厂前2.13 区布置花坛，水池以及厂标、雕型等建筑小品。 √ 序号 3 3.1 厂区道路 检查项目及内容 依据法规 GB50187-93 4.1.8 SJ30002-92 2.3.17 GB50187-93 5.3.1 GB50187-93 5.3.5 5.3.6 GB4387-94 5.1.8 GB4387-94 5.1.4 GB4387-94 5.1.10 GB4387-94 5.1.3 GB4387-94 5.1.1 GB4387-94 5.1.1 SJ30002-92 2.6.7 2.6.8 SJ30002-92 2.6.10 SJ30002-92 2.3.18 SJ30002-92 2.9.1 SJ30002-92 2.9.2 SJ30002-92 2.9.3 SJ30002-92 检查结果 √ 备注 运输线路，满足生产要求，物流顺畅，线路短捷，人流、货流组织合理。 人流、货流组织合理。 呈环形布置。有回转场地。 道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产厂、仓库区、动力区的道路应呈环形3.2 布置。厂区尽头端式道路应有足够的消防车回转场地。 厂区主干线双向行驶路宽≥5m，单向行驶路宽≥3.5m；并有单向行驶标记，且能形3.3 成环形通道；人行道>0.75m；沿主干线人行道1.5m。 3.4 职工上下班时间内，人流密集的出入口和路段，应停止行驶货运和机动车辆。 √ √ 厂区道路21m、15m、12m、7m。有人行道。 油罐区、化学品库道路未划分限行路段。无标志。 无交通标志。 良好。 完好。 √ 易燃易爆区、储存库区将道路划分为限制3.5 车辆通行或禁止车辆通行的路段，并设标志。 3.6 厂区道路在弯道交叉路口的横净距范围内，不得有妨碍驾驶员视线的障碍物。 × √ × √ √ 3.7 厂区道路应设置交通标志。 3.8 路面平整、路基稳固、边坡整齐、排水良好。 3.9 有完好的照明设施。 4 常规安全防护设施 架空平台、走道、钢梯应符合国家现行《固定式工业平台、工业防护栏杆、钢直梯、4.1 钢斜梯》等标准的规定。凡采用直梯的场所，应采取防护措施，相邻两层的直梯宜错开设置。 4.2 厂区各种井、沟应有盖板。 4.3 道路上部管架和栈桥等障碍物，在干道上的净高不得小于5m。 √ 厂区平台、钢梯基本符合要求。 √ √ 有盖板。 安全标志不齐全，不醒目。 未按规定涂色。 不齐全。 不规范。 凡容易发生事故危及安全的场所，应设置4.4 安全标志。必要处尚应设置声光、色或声光结合的紧急警告信号。 4.5 4.6 各种输送气体、液体及其它物料的管道，均应按国家及电子工业有关规定涂色。 厂房、动力站房的安全出口及疏散通道、应设置明显的标志。 ∽ × ∽ ∽ 4.7 安全标志的涂色，应符合国家现行《安全序号 检查项目及内容 标志》及《安全色》标准的规定。 依据法规 2.9.4 检查结果 备注

5.1.2综合评价分析 1） 危险危害辨识

① 厂区建（构）筑物如间距小，道路狭窄，路面不平整、不畅通，若人流、物流不能有效分流，车辆无回车场地或车辆刹车、音响、灯光等出现问题，易引发车辆伤害事故。

②厂区内丙烷站、化学品库（室），油罐区、110KV变电站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位无安全标志，无限行、禁行等交通标志。易造成误入及违章等，引发中毒、燃爆、触电等伤害。 ③厂区内若坑、孔、井及走台、平台无防护围栏或盖板，直梯、斜梯不符合有关规定都可引发碰、磕、摔伤和坠落伤害。

④厂区内若道路无路标无交通标志，过路工业管路无限高标志，可造成各种车辆随意超速，任其闯越工业管路架设较低区域，易造成车辆交通事故或设备损害事故。 2）问题与建议

厂区总平面布置根据生产、工艺特点按功能分区布置，能够满足生产加工过程流程要求，建（构）筑物安全距离基本符合有关规定要求，厂区道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产区、库区、动力区的道路呈环形布置，能满足消防车畅通和回转的要求，厂区各种井、沟有盖板、平台、走台、钢梯基本符合有关标准要求。但仍有一些问题应引起注意。需采取相应措施以消除可能导致事故发生的隐

患。

①油罐区与锅炉房和厂区道路的间距未达到GB50074《石油库设计规范》的要求。应按油罐区评价单元的建议完善其防火防爆措施并控制储油量。

②凡容易发生事故危及安全的场所，安全出入口，应设置齐全醒目的安全警示标志。安全标志的涂色应符合国家现行的《安全标志》及《安全色》标准的规定。

③厂区工业管路应按GB7231-87《工业管路的基本识别色和识别符号》规定，基本识别色应涂刷在管路全长上或在管路上涂刷宽150mm的 色环或在管路上用基本识别色胶带缠绕宽150mm的色环。

基本识别色色环应涂刷在所有管路交叉、阀门和穿孔西侧等的管路上以及其他需要识别的部位。在管路上用识别符号标识管内流体性质、名称和流向。

④厂区道路应设置显示道路名称、方向、车辆限速的交通标志。在易燃易爆的生产区域应根据需要可将部分道路划分出限制或禁止车辆通行的路段，并设置标志。 5.1.3评价结论

厂区总平面布置综合考虑有利生产，方便工作的要求，各建（构）筑物按功能分区，生产工艺流程短捷便利，整体布局合理、厂区道路呈环形布置，消防通道畅通、照明完好，人、物分流，并为企业发展留有余地和空间，基本符合GB50187《工业企业总平面设计规范》的

要求，只要按照检查表和建议的内容给予补充完善，可为实现安全生产创造更为有利的条件。

5.2生产工艺及危险化学品使用安全评价单元

1）支援车间危险化学品使用、储存、安全措施情况如表5.2.1-3所示：

表5.2.1-3 危险化学品使用、储存及安全措施表

序储存场 储存危险化学品名称 号 所名称 砷化氢混合气（AsH3/H2） 1.5%锗烷/氢气（GeH4/H2） 1 毒性气 1%磷化氢/氮气混合气体室 （PH3/N2） 5%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2） 氨气（NH3） 一氧化碳（CO） 二氯硅烷（SiH2Cl2） 二氟甲烷（CH2F2） 50ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2） 2 易燃气体室 氟甲烷（CH3F） 100ppmB2H6/N2 5% B2H6/N2 100ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2） 10%氨气/氮气 C4F6 Cl2 3 腐蚀性HBr 气体室 HCl SiF4 NF3 4 氧化气体室 N2O 30%O2/He 1.2%He+N2 C4F8 CHF3 ClF3 气柜数量（个） 1 1 1 2 8 3 1 1 1 2 1 2 2 1 1 2 2 2 11 1 9 7 6 1 2 1 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋(ClF3无)、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、氨、氟环境监测报警、消防水喷淋、排风（酸碱性排风系统分开）、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。 安全设施 10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜、双套管输送，内套管为真空，设侦测器，介质泄漏时，报警。 序储存场 储存危险化学品名称 号 所名称 5 惰性气体室 C2F6 CO2 CF4 CHF3 SF6 He 4%H2/N2 HCl CDM BOE CDM HF CDM 6 酸室 NOE CDM HNO3 CDM H3PO4 CDM H2SO4 CDM HF100:1 CDM Base Room （碱室） NH4OH H2O2 SD-1 ACT940 CDM 8 溶剂室 EG-01 EBR10A 1PA-01CDM

气柜数量（个） 1 1 2 2 2 1 1 1 1 2 1 1 1 2 1 1 2 1 1 1 1 1 柜。 安全设施 设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置。 7 设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送内设泄漏报警侦测器，PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。 设溶剂排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。 2）危险危害辨识与分析 ①火灾、爆炸

各类易燃液体、易燃气体在生产、储存、输送过程中，一旦因设备材质缺陷、制造质量差、机械损伤等原因致使设备密封效果不好、包装容器破损以及人员误操作，造成物料泄漏，如作业现场通风不良，与空气混和达到爆炸极限，遇有火源可能发生火灾、爆炸； ② 腐蚀、中毒、化学灼伤

清洗、扩散、光刻、蚀刻等生产区、酸室、Base room、碱室、

溶剂室等腐蚀性化学品生产、储存、使用场所内，盛装酸、碱性腐蚀品磷酸、盐酸等设备、容器以及输送管路因材质缺陷，制造质量差，搬运、使用过程机械损坏、倾翻，造成物料泄漏，如人体接触泄露的酸、碱性物质将会引起严重的化学灼伤；同时各类腐蚀性气体、毒性气体因盛装气瓶、输送管路、使用设备腐蚀、制造缺陷等原因造成泄漏，人接触或吸入有毒、腐蚀性气体，均会造成人员中毒。 ③ 物理爆炸

各类压力容器（包括气瓶）、管道，如果设备、管道因材质缺陷、设计不合理、制造焊接质量差、腐蚀等使其强度降低以及安全阀、压力表等附件失灵等，可能发生容器、管道不能承受设计压力而发生爆炸，造成人员伤亡，设备损坏。 ④ 高温灼伤

高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。

⑤ 激光、红外线辐射灼伤

在各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。

⑥高频、噪声伤害

在离子植入区，使用离子植入机等高频设备；清洗、光刻、蚀刻区使用各类清洗机、蚀刻机、微影机等产生噪声的设备，如上述各类设备高频、噪声防护措施不当或损坏都会对人员造成物理因素伤害。

⑦ 高处坠落

当去废溶剂储罐等相对基准面标高超过2m设备进行检查、操作或维修设备时，若未按标准设置钢梯、护栏、平台或设置不完善，作业人员去检查、操作或检修时，稍不慎会发生高处坠落事故。 ⑧ 触电

各类用电设备、照明、配电系统线路保护接零未接或失效，线路绝缘损坏、线路短路等均可能发生触电事故。 ⑨ 电气火灾

电气设备、配电系统未按规定装设漏电保护器、过电压保护等装置或失效，线路绝缘损坏、短路，以及防爆场所电气设备、线路、照明不符合防爆要求等均会发生电气火灾。 ⑩雷电危害

建筑物防雷设计不合理、施工不规范、接地电阻值不符合规范要求，当雷击建筑物、电力设备、线路等时，会产生雷电过电压，在雷电波及的范围内会导致严重损坏建筑物、设备并可能危及人身安全。雷电火花还可能引发易燃易爆物质的火灾、爆炸，造成严重的生命、财产损失。

11静电危害 ○

如火灾、爆炸危险环境内（如：光刻、清洗区、扩散区、可燃气体储藏间等）设备、管路防静电设计或施工不规范，在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷，不能及时消除，随着时间延续，静电荷将越聚越多，静电电压逐渐升高，当达到一定程度时，发

生放电火花；或使用有火花工具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花等，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。 3）安全检查表

依据GBJ16-87《建筑设计防火规范》（2001版）、GB50187《工厂企业总平面设计规范》、SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计规定》、GBJ19-87《采暖通风与空气调节设计规范》（2001年版）、GB50073-2001《洁净厂房设计规范》、GB5083-99《生产设备安全卫生设计总则》、GB12801-91《生产过程安全卫生要求总则》、GB2893-2001《安全色》、GB2894-96《安全标志》、GB15603-95《常用化学危险品贮存通则》、国务院令第344号《危险化学品安全管理条例》等法规、标准、规范编制安全检查表，查验结果详见表5.2.3-1。

表5.2.3-1 生产工艺及危险化学品使用单元安全检查表

检查结果 √ 均为二级。 序号 检查项目及内容 依据法规 备注 1 1.1 建筑结构及平面布置 生产厂房耐火等级不应低于二级。 若多层生产厂房耐火等级为二级，其防火分区最大允许占地面积为4000m2。（因有自动水喷淋系统，防火分区最大允许占地面积增加一倍） 有爆炸危险的生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）宜独立设置。 有爆炸危险的生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）应设置必要的泄压设施，泄压设施宜采用轻质屋顶作为泄压面积。 硅烷室泄压面积与厂房的体积比值（m2/m3）宜采用0.05～0.22，体积超过 GBJ16-87 3.2.1 GBJ16-87 3.2.1 GBJ16-87 3.4.1 GBJ16-87 3.4.2 GBJ16-87 3.4.3 1.2 √ 占地面积4000m2。 1.3 √ 单独设置。 硅烷室屋顶泄爆、生产车间、易燃气体室无泄压。 约0.3。 1.4 ∽ 1.5 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 1000m3的建筑，不宜小于0.03。 1.6 生产车间、易燃气体室、硅烷室等可能散发可燃气体、可燃蒸气的厂房应采用不发火地面。 有爆炸危险的该甲乙类厂房不应设置办公室、休息室如必须贴邻布置，应采用一、二级耐火等级建筑物并应采用耐火极限不低于3h的非燃烧体防护墙隔开并设置直通室外或疏散楼梯的安全出口。 厂房结构应满足地震烈度7度设防要求，框架抗震等级二级要求。 芯片光刻等对洁净度要求较高的主要生产厂房，宜布置在厂区最小频率风向的下风侧，并在四周留有绿化场地。 易燃易爆工作间宜设置在单层厂房内，或设在多层厂房的顶层端部。 洁净厂房 洁净室应设置人员净化、物料净化室和设施。 洁净室内噪声值不应大于70db（A）。 洁净实验室耐火等级不应低于二级。 洁净室的顶棚和壁板应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料。 洁净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。 洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启，并加闭门器。 洁净厂区应设置事故排风，洁净室事故排风换气次数应采用10～20次/h，事故排风宜由常用排风系统与事故排风系统共同保证，事故排风装置的开关应分别设在洁净室内和室外便于操作的地点，事故排风应与报警装置联锁。 作业环境及工艺、设备安全装置 作业环境 GBJ16-87 3.4.6 √ 环氧地面。 1.7 GBJ16-87 3.4.8 √ 1.8 GB50187-93 2.0.4 SJ30002-92 2.3.6 SJ30002-92 3.6.12 GB50073-2001 4.3.1 GB50073-2001 4.4.1 GB50073-2001 5.2.1 GB50073-2001 5.2.4 GB50073-2001 5.2.5 GB50073-2001 5.2.9 √ 7度设防。 1.9 √ 除硅烷室单独设置外，均设在多层厂房一、二层内。 分别设置人员、物料净化室。 ≤65dB。 二级。 用防火墙和防火门分隔。 1.10 2 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5 × √ √ √ √ √ 2.6 √ 2.7 SJ30002-92 7.0.10 √ 设置排风系统，常开；特殊气体室室外设手动开关，设自动联锁报警。 3 3.1 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 √ √ 2.5m 备注 3.1.1 3.1.2 车间内人工运输通道宽度必须≥1.0m。 设备设施之间应留有相应的操作空间、检修空间、巡回检查及安全通道。 洁净厂房应设置供人员疏散用的应急照明，并应设置指明应急安全出口的疏散标志。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。 易燃易爆厂房的人员疏散，通道应保持畅通，并应设置应急照明，疏散指示标志及排烟措施。 钢梯、平台所设置的护栏的设计应符合有关标准。 电子、化学工艺安全 高能离子注入机应设在人流最少的区域内，并应有符合国家标准要求的接地及相应的电磁波、X射线防护措施。 联动生产线应有紧急制动装置或联锁装置，危险部位应设置醒目的警告标志；散发毒气的工序应设置排风；带电作业的工序需装设自动保护装置。 使用酸、碱或有机溶剂进行清洗的设备，必须装设局部排风系统，使用有毒溶剂进行清洗的设备应采取密闭措施；凡使用电气的化学清洗设备，应有良好的接地。 生产车间内应设置紧急冲淋装置及洗眼器。 对于存在激光辐射设备，应采取屏蔽等防护措施。 防火、防爆、防中毒 输送易燃易爆介质的管道、管件、阀门、泵的连接处必须严密，管道系统应采取接地措施。 易燃工作间的设备、电气线路，开关、灯具等，均应采用相应等级的防爆型产品。 SJ30002-92 3.1.3 SJ30002-92 3.1.4 SJ30002-92 7.0.14 3.1.3 √ 设应急照明、疏散标志。 3.1.4 SJ30002-92 3.6.13 GB4053.1～3-93 GB4053.4-83 第2.5.2条 SJ30002-92 3.2.3 √ 3.1.5 × 废液收集罐处平台护栏不符要求。 设置于人流最少的东侧，采取隔离防护措施。 设置紧急制动，设置警告标志及排风系统，带电作业设置接地故障、短路故障保护装置。 3.2 3.2.1 √ 3.2.2 SJ30002-92 3.2.5 √ 3.2.3 SJ30002-92 3.3.1 √ 均设置。 3.2.4 3.2.5 3.3 3.3.1 SJ30002-92 3.3.6 SJ30002-92 9.1 SJ30002-92 3.6.8 SJ30002-92 3.6.11 √ √ √ 设置洗眼、淋浴器。 屏蔽光源保护措施。 管道系统通过管架接地。 3.3.2 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 √ √ √ 备注 3.3.3 3.3.4 3.3.5 电气设备金属外壳应与PE线可靠连接。 氢气、CO和天然气管道不能通过烟道、通风管、配电室和易燃易爆物仓库。 管道应标志介质及流向。 对有害气体、易燃气体的作业区，应采取切实有效的防护措施，提高自动化，采取密闭、隔离生产。 车间空气中有害物质的浓度，必须符合《工业企业设计卫生标准》的规定。 输送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蚀性气体或液体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法，必须具有密封、耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。 危险相同的生产，宜集中或相邻布置 GB50169-92 2.1.11 GB50028-93 7.2.10 SJ30002-92 2.9.2 SJ30002-92 2.4.5 SJ30002-92 2.1.5 SJ30002-92 2.4.11 SJ30002-92 2.5.3 SJ30002-92 2.6.5 SJ30002-92 2.6.10 SJ30002-92 2.7.2 SJ30002-92 6.3.12 3.3.6 √ 隔离操作、密闭生产。 已做监测，数据暂不能提供。 双套管输送，防腐内涂层。 3.3.7 ∽ 3.3.8 √ 3.3.9 √ 防泄漏收集采用二次容器，1.1倍容积。 对于产生有害、有毒物质的厂房，厂房3.3.10 内部应采取便于清扫、刷洗以及防止毒物附着和积蓄的措施。 3.3.11 车间内各种明沟，应加设盖板。 生产过程中工作服易污染、沾染，易经3.3.12 皮肤吸收的剧毒物质，洁净度要求严格的厂房和车间应设置洗衣房。 3.3.13 凡使用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗的设备，必须装设局部排风联锁。 √ √ √ 设洗衣房。 √ 有下列情况之一时，排风不应合为一个系统： SJ30002-92 混合后能引起燃烧或爆炸时； 3.3.14 3.6.9 （1）混合后能引起燃烧、爆炸时； （2）易燃易爆工作间排风与一般工作间排风。 氢气、煤气管道，在末端、最高点等处3.3.15 应设置放散管，放散管应高出屋顶；放散管上应设阻火器。 洁净厂房内用于硅烷等容易自燃气体的风管宜采用不锈钢管、排放含酸、碱3.3.16 性气体的风管应采用不燃或经过防火处理的专用塑料风管或不锈钢风管。 SJ30002-92 4.1.6 √ 均设置独立排风。 √ SJ30002-92 7.0.18 √ 双层不锈钢、酸碱风管采用ATC玻璃钢涂层。 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 4 危险化学品的使用、输送与管理 危险化学品应按其类别、性质分类、分堆、分间储存、输送。性质相抵触的化学危险品，严禁混放在一起。 输送危险化学品的设备、附属仪表、器材等，应根据危险介质，采用必要的防泄漏、防腐蚀措施。输送腐蚀性较强的液体管道，不应敷设在其它管道的上方，并不宜连接埋地敷设。 储存有较强腐蚀性液体的设备应设置必要的防溢出、防渗漏紧急处理设施。其基础及周围地面应采取防腐蚀处理。 对于输送具有较强腐蚀性液体的化学药剂泵、在其填料函或机械密封圈、法兰、阀门易喷射泄漏处，应设置适当的安全防护。 输送有毒介质的设备、管道放空时，应加以收集或处理，不得任意排放。 易燃、易爆的车间，应采用易于清洗、撞击或磨擦时不产生火花的地面。 有爆炸危险的房间（如硅烷室、易燃气体室、生产车间等），应设置泄压措施，安全出口不应少于2个。其中一个直接对外，不超过100m2的房间可设一个出口。 危险化学品使用场所应设置通讯、报警装置，并保证在任何情况下均处于正常使用状态。 应在危险化学品作业场所设置急救设施，并提供应急处理的方法。 SJ30002-92 3.8.3 4.1 √ 分酸、 碱有毒气体室、硅烷室、易燃气体室等。支援车间分功能区。 4.2 SJ30002-92 3.8.7 √ 双层套管内设泄漏检测。 4.3 SJ30002-92 3.8.8 √ 全封闭输送机组，多种报警联锁装置；周围设置围堰。 全封闭PLC程控泵组无泄漏。泵为全封闭型 收集并加以洗涤。 硅烷室、易燃室符合要求。 硅烷室设泄压其余无，安全出口均不少于2个。 设置应急通讯、自动、手动报警装置。 设置应急用品柜，提供处理方法。 4.4 SJ30002-92 3.8.9 SJ30002-92 3.8.10 SJ30002-92 3.8.11 √ 4.5 4.6 √ √ 4.7 GBJ16-87 3.5.1 ∽ 4.8 危险化学品安全管理条例 第18条 工作场所安全使用化学品规定 第17条 工作场所安全使用化学品规定 第19条 GB15603-1995 6.7 关于加强化学√ 4.9 √ 4.10 使用单位应对盛装、贮存危险化学品的设备，采用颜色、标牌、标签等形式，标明其危险性。 丙酮、双氧水等氧化剂不得在操作岗位附近混合贮存，氧化剂应单独存放。 废弃、过期的化学危险品及使用过的包√ 储存柜上均有标识。 4.11 4.12 √ √ 单独存放。 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 装容器必须妥善保管，不得随意抛弃，危险物品管理依据危险废弃物的处置标准进行处置。 的通知 4.13 使用危险化学品，在天津市有关主管部门办理了登记手续，并取得使用许可证。 有关领导和从业人员必须接受法律、法规、规章和安全知识、专业技术的培训，经考核合格，方可上岗作业。 有毒气体控制装置 砷烷、氯气、氨等有毒、易燃、易爆气体的钢瓶柜，离子刻蚀设备、离子注入机等使用有害气体的作业点，应设事故排风装置。 使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作间，宜设报警装置及事故排风。报警装置宜与生产设备、操作阀联锁，不工作，亦应定时进行排风。 电气 电气装置采用接地故障保护时，应做总等电位联接。 检测和控制仪表的电源和气源，停电或停气可能使生产、动力设备造成重大事故时，必须有备用电、气源。备用时应根据工艺、动力要求确定，一般不小于15-30分钟。 停电或停气时，调节阀的阀位应处于安全位置。 消防设施、防烟排烟系统、电动防火门窗、火灾应急照明、消防用电设备，应采用单独的供电回路，并当发生火灾切断生产、生活用电时，应仍保证消防用电。其配电设备应有明显标志。 在有爆炸危险环境内，敷设电气线路的沟道、电缆或钢管，在穿越不同区域之间隔墙或楼板处的孔洞，应采用非燃性材料严密堵塞。 电气设备线路必须安全可靠,照明应采用有防护罩的灯具。 在火灾、爆炸危险环境内，可能产生静市安监局、市经委相关文件要求 《危险化学品安全管理条例》 第四条 SJ30002-92 6.3.16 6.3.23 ∽ 正申办。 4.14 ∽ 已组织，尚未培训。 5 5.1 √ 5.2 SJ30002-92 6.2.9 SJ30002-92 12.2.4 √ 设置报警联锁装置及事故排风。 等电位连接。 6 6.1 √ 6.2 SJ30002-92 12.2.8 √ 设发电机3台，压缩空气备用气源≥30min。 6.3 SJ30002-92 12.2.9 √ 6.4 SJ30002-92 12.2.10 √ 单独设置供电回路，UPS、EPS、SP电源， 6.5 SJ30002-92 12.2.16 SJ30002-92 3.2.7 SJ30002-92 √ 防火水泥堵塞。 6.6 6.7 √ √ 线路穿管敷设，灯具有防护罩。 设备、管道均采取序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 电危害的设备、管道应采取静电接地措施。 6.8 7 7.1 7.2 在重点防火、防爆作业区的入口处，应设计人体导除静电装置；并配备个人防静电防护用品。 消防、报警设施 建筑灭火器的配置应按《建筑灭火器配置设计规范》的有关规定执行。 洁净室及技术夹层应设置自动灭火系统。 生产厂房应设置火灾自动报警检测系统。 12.5.4 静电接地措施。 HG20571-95 3.2.10 GBJ16-87 8.7.7 SJ30002-92 7.0.11 SJ30002-92 7.0.15 GB12801-91 6.3.1 GBJ16-87 10.3.2 SJ30002-92 3.6.2 SJ30002-92 12.6.3 √ √ √ 设消除静电离子发生器。 7.3 √ 7.4 储存、使用易燃易爆物质的生产区、硅烷室、易燃气体室等应设置可燃气体监测报警装置、事故排风及防爆设施。 洁净厂房、有毒、易燃气瓶间等可能散发可燃、可爆和有毒、有害气体的场所应设置各种可燃、有毒、有害气体检漏报警装置。 气瓶安全使用 √ 设作业环境监测报警系统。 7.5 √ 设置不同类型报警装置。 8 8.1 使用气瓶应： 采购和使用有制造许可证的企业的合格产品，不使用超期未检的气瓶。 必须到已办理充装注册的单位或经销注册的单位购气。 气瓶使用前应进行安全状况检查，对盛装气体进行确认。 气瓶安全监察气瓶放置地点不得靠近热源和明火，应规程 保证气瓶干燥。 第79条 气瓶立放时，应采取防止倾倒的措施； 夏季应防止爆晒； 严禁敲击、碰撞； 严禁在气瓶上进行电焊引弧； 瓶内气体不得用尽，必须留有剩余压力或重量，氢气瓶剩余压力应不小于0.05Mpa。 磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆气体钢SJ30002-92 √ 各项措施齐备，剩余压力小于0.05Mpa自动切换。 8.2 √ 长期通风。 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 瓶，必须放置在设有排风防护装置的金属柜内。不工作时，应有自动定时排风系统。 9 9.1 安全标志 凡容易发生事故危及安全的场所，应设置安全标志，必要处尚应设置声、光、色或声、光结合的紧急警告信号。 厂房、动力站房的安全出口及疏散通道，应设置明显的标志。 安全标志的涂色，应符合国家现行《安全标志》及《安全色》标准的规定。 工业管路基本识别色应符合： 绿色：水 铝色：蒸气 棕色：易燃液体 黄褐色：气态或液态气体（空气、氧气除外） 紫色：酸或碱 浅蓝色：空气或氧气 黑色：其它液体。 6.2.8 SJ30002-92 2.9.1 SJ30002-92 2.9.3 GB2893-82 GB2894-1996 √ 机台、气柜等均设置安全标志。 9.2 √ 9.3 √ 9.4 GB7231-87 ∽ 未完全执行本国标。 4）危险源综合分析与评价 ①单元的主要危险因素

SMIC中芯国际集成电路制造有限公司集成电路生产工艺复杂，同时使用多种易燃、易爆、有毒化学试剂和易燃、有毒气体，按照GBJ16-87“生产的火灾危险性分类”为甲类，因此火灾、爆炸、中毒是本单元的主要危险因素，其次是腐蚀灼伤、物理爆炸、高频噪声伤害、静电危害等。

② 已采取的主要安全技术、管理措施

针对上述危险有害因素，为了确保生产工艺及支援车间的安全运

行，企业已采取的安全技术措施主要有：

A．洁净厂房、各类溶剂室、气体室等建筑结构、耐火等级符合国家相关规范要求；

B．洁净室在产生有害气体工作区设置局部排风，同时设置火灾自动报警装置、火灾排烟系统及应急照明；

C．将腐蚀性、易燃、有毒、惰性气体分别设置在独立的房间内，硅烷单独设置在独立的建筑物内；

D．所有易燃、有毒、腐蚀性气体盛装钢瓶均安装在特制的气柜内，气柜带有阀门盒和阀门屏，气柜内配备自动的氮气净化系统。 E．有害气体在气柜、阀门盒、工艺设备和有毒气体排放口设监测点，所有探头具有高敏度报警功能；

F．酸、碱、有机溶剂采用高纯氮气充填容器，利用双层管道输送至使用点，在双层管道内设监测报警探头，所有化学品盛装容器、使用点均设置局部排风系统；

G．在危险化学品生产、储存场所设置洗眼器及安全淋浴装置； H.本单元消防、报警、联锁装置的设置基本符合国家标准要求。 3） 问题与建议

为了保证系统能够安全运行，厂方采取了一些安全措施，基本能够实现安全生产。通过对作业现场安全现状考察与分析，还存在一些不符合规定的安全问题，具体问题和建议如下：

A．因洁净室生产厂房、易燃气体室未设置泄压设施，并且未按SJ30002-92标准设置在多层厂房顶层，因此需采取有效措施，保障各

类防火、防爆、排风系统等安全装置、设施的齐备、完好及有效性。 B．废液收集罐上的平台护栏需按标准要求修复；

C． 应按GB7231-87相关要求对工业管路涂敷基本识别色。 5）验收评价结论

SMIC中芯国际集成电路制造有限公司集成电路生产工艺单元主要危险因素是各类可燃气体、易燃液体以及有毒物料泄漏引发火灾、爆炸、中毒。洁净生产车间、支援车间设计、施工以及各类危险化学品安全使用、储存情况基本符合标准、规范和安全生产要求；项目本质安全程度较高，各项安全装置基本齐全、有效。只要在生产过程中严格执行各项安全生产管理制度和安全操作规程，可以实现安全生产。

5.3化学品库安全评价单元

序号 1 表5.3.3-1 化学品库安全检查表 检查检查项目及内容 依据法规 结果 基本要求 √ 备注 化学危险品及贮存数量，必须经GB15603-1995 1.1 公安部门批准。未经批准，不得4.2 随意设置化学危险品贮存仓库。 危险化学品使用、储存企业，应当分别向省、自治区、直辖市人民政府经济贸易管理部门和设1.2 区的市级人民政府负责危险化学品安全监督管理综合工作的部门办理登记注册手续。 贮存化学危险品的仓库，必须配备有专业知识的技术人员。其库1.3 房及场所应设专人管理，管理人员必须配备可靠的个人安全防护用品。 1.4 贮存化学危险品的建筑物，区域内严禁吸烟和使用明火。 国务院令第344号9条 ∽ 此项工作正在办理过程中。 GB15603-1995 4.4 √ 仓库配备有专业技术人员，专门库管人员配备有安全防护用品。 全厂禁烟，区域内不准使用明火。 GB15603-1995 4.9 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 各储存室门上标有所存放物品的火灾等级、毒性等级，反应活性等级及所属物质分类（或禁忌物品种类）的醒目标志。 该仓库的建筑面积777m，稍大于规范要求面积，视为合格。 以T建筑物为中心，建筑物与库区外的建筑物间距符合要求，消防通道畅通。 没有 库房对外有2个出入口，每个储存间除有一个与主走廊相通的门外，都有一个直接通向建筑物外的紧急疏散门。 2贮存的化学危险品应有明显的标志，同一区域贮存两种或两种GB15603-1995 1.5 以上不同级别的危险品时，应按4.6 最高等级危险物品的性能标志。 2 建筑物及设施 GBJ16-87 4.2.1 SJ30002-92 3.8.2 GB15603-1995 5.1 √ √ 化学危险品库房的建筑耐火等2.1 级应为二级，单层，建筑面积不2大于750m。 化学危险品库建筑耐火等级不2.2 应低于二级，防火间距不应少于30m，消防通道必须保证畅通。 2.3 贮存化学危险品的建筑物，不得有地下室或其它地下建筑。 √ √ 2.4 库房或每个防火隔间的安全出口数目不宜少于2个。 GBJ16-87 4.2.7 √ 化学危险品库建筑设计，应符合安全、防火规定。应采取隔热、通风、防止阳光直射措施，保证库内空气流通、干燥凉爽，应避2.5 免可燃气体积聚，并根据物品的种类、性质，采取相应的防爆、泄压、防火、灭火、防雷、报警、调温、防潮、消除静电、防护围堤等安全措施。 2.6 贮存易燃、易爆化学危险品的建筑，必须安装避雷设施。 SJ30002-92 3.8.4 √ 该条要求本库都有相应的安全设施给予保证，如不间断排风、报井、水喷淋灭火、防雷、消除静电、腐蚀液体流散收集沟等，在下面分条检查。 GB15603-1995 5.3.3 GB15603-1995 5.4.1 GB15603-1995 5.4.2 GB15603-1995 5.4.3 公安部6号令第40条 公安部6号令第41条 √ 仓库屋顶设有避雷设施并与接地体相连。 库房有单独的通风系统，其设施安装于主走廊的夹层内。 金属板制成的通风管道与接地网有电气连接。 通风管由不燃的金属薄板制做。 库房内照明开关、用电设备控制都在库外的电气间。 化学危险品库房，必须安装通风2.7 设备。 2.8 2.9 2.10 化学危险品库房，通排风系统应设有导除静电的接地装置。 化学危险品库的通风管应采用非燃烧材料制作。 库房内敷设的配电线路，需穿金属管或用非燃硬塑料管保护。 √ √ √ √ 库区的每个库房应当在库房外2.11 单独安装开关箱。 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 库房内使用的照明设施、气体监测、火焰监测等均为防爆型。 爆炸性气体环境电气设备的选择应根据危险区域的分区，选取2.12 电气设备种类、结构、级别和组别。 库房内应急照明、有毒气体监测2.13 器、火焰监测、报警装置的供电电源为一级电源。 储存具有较强腐蚀性液体的房2.14 间，其基础及周围地面，应采取防腐蚀处理。 储存氧化剂、易燃易爆物质的库2.15 房，应采用易于清洗，撞击或摩擦时不产生火花的地面。 3 贮存 化学危险品必须存放在专用仓3.1 库、专用场地或专用储存室（柜）内，并由专人管理。 化学危险品应按其类别、性质、分类、分堆、分间储存。性质相3.2 抵触的化学危险品严禁放在一起。 GB50058-92 2.5.2 √ √ 该库安全要求。 具有腐蚀性液体的贮存室地面为防腐地面，且有液体流洒、泄漏收集沟。 贮存氧化剂、易燃易爆物质的贮存室地面为不发火花地面。 化学危险品储存设有专库，有专人管理。 SJ30002-92 3.8.8 SJ30002-92 3.8.11 SJ30002-92 3.8.2 √ √ √ SJ30002-92 3.8.2 √ 按其类别分间储存、下面按物质特性分类检查。 硅烷、H2极易爆炸，其钢瓶单独存放在独立的敞开式罩棚内。 该库有单独的气体贮存室和惰性气体贮存区。 极易爆炸物品，不准和其它物品GB15603-1995 3.3 同贮，必须单独限量分区贮存。 6.5 压缩气体和液化气体，必须与爆GB15603-1995 3.4 炸物品、氧化剂、易燃物品、自6.6 燃物品、腐蚀性物品隔离贮存。 易燃液体遇湿易燃物品、易燃固GB15603-1995 3.5 体，不得与氧化剂混合贮存，具6.7 有原还性的氧化剂应单独存放。 腐蚀性物品包装必须严格，不允3.6 许泄漏，严禁与液化气体和其它物品共存。 库房温度、湿度应严格控制，经3.7 常检查，发现变化及时调整。 GB15603-1995 6.9 GB15603-1995 7.3 √ √ √ 设有单独的氧化剂室。 √ 设有单独的腐蚀剂室、包装严密。 每室有温、湿度自动调节器，保证库房温度在30℃以下，湿度不大于75%。 库内装卸、搬运工具有叉车、地牛、钢瓶专用手推车，桶专用手推车。 危险化学品入库后每班进行检查，先入库的先用，防止超期储存。需低温储√ 装卸、搬运化学危险品时，应做GB15603-1995 3.8 到轻装、轻卸，严禁摔、碰、撞、8.4 击、拖拉、倾倒和滚动。 化学危险品入库后应采用适当GB15603-1995 3.9 的养护措施，在贮存期内定期检7.2 查，发现其品质变化，包装破损、√ √ 序号 检查项目及内容 渗漏、稳定剂短缺等，应及时处理。 依据法规 检查结果 备注 存的物品存放在所属室内专门的冷库或冷柜内。 装有易燃易爆性液体物质的容器采用密封性能好的钢罐，装有腐蚀性物质的容器，采用具有耐腐蚀材料的塑料桶，对盛装具有毒性大的沙林气体，采用呈负压式钢瓶，即使钢瓶不严，也不会有毒气逸出来。 气体室分成2个屋，中间用防火墙和防火门分隔，本身易燃又具有毒性的气体存放在里间，外间屋存放的是不燃有毒气体和助燃有毒气体。 该库贮存的HF酸已超过临界量5t，该库是重大危险源。 仓库的电动叉车、电动地牛为防爆型。 库内有电动叉车2辆，手动、电动地牛各1辆，还有钢瓶专用手推车，互为禁忌物料不会共用同一车辆运输。 一辆电动叉车、一辆电动地牛已取得专门部门颁发的厂内机动车辆运行许可证。另一辆电动叉车正在办证中。 气瓶储存满足所列要求。通风、避光，空、实瓶分开，配瓶帽，立放有防倒装置等。 危险货物运输包装应结构合理，具有一定强度，防护性能好。包装的材质、型式、规格、方法和3.10 单件质量（重量），应与所装危险货物的性质和用途相适应，并便于装卸、运输和储存。 GB12463-90 4.2.1 √ 3.11 易燃气体不得与助燃气体、剧毒气体同贮。 GB15603-1995 6.6 √ 储存危险化学品的数量等于或3.12 者超过临界量的单元，称其为重大危险源。 4 4.1 库内运输、装卸车辆 甲类物品库房的电瓶车、铲车必须是防爆型的。 国务院令第344号10条 公安部6号令30条 √ √ 4.2 不得用同一车辆运输互为禁忌的物料。 GB15603-1995 8.6 √ 电动叉车、电动地牛车应取得专门部门颁发的厂内机动车辆运4.3 行许可证。叉车应设有双向行车警告信号装置。 4.4 5 叉车的刹车、转向、灯光、喇叭和后视镜等功能齐全、可靠。 钢瓶 储存气瓶时，应遵守下列要求： 1、应置于专用仓库贮存； 2、仓库内严禁有地沟、严禁明火和其它热源，应通风干燥，避GB4387-94 5.2.1 ∽ GB4387-94 5.2.2 √ 5.1 《瓶规》 77条 √ 序号 检查项目及内容 免阳光直射； 3、规定贮存期限，实瓶与空瓶应分开放置，并有明显标志； 4、毒性气体气瓶和瓶内气体相互接触能引起燃烧、爆炸、产生毒物的气瓶，应分室存放，并在附近设置防毒用具和灭火器具； 5、气瓶放置应整齐、配带好瓶帽，立放时，要妥善固定。 气瓶装卸 依据法规 检查结果 备注 5.2 气瓶要轻装轻卸，严禁抛、滑、滚、碰；采用车辆运输时，气瓶应妥善固定。 6 防火、消防 《瓶规》 76.2 76.5 √ 装卸有气瓶专用手推车。用车辆运送到车间用户时，连同手推车一起运送，做为固定装置，并有利于装卸。 仓库门上有“严禁烟火”的标志，进入库区的人没有库管人员带领，仓库门打不开，不能进入。人员进入没有登记。 由厂负责安全、消防部门人员管理。 主走廊上各储存室的门口和室内都摆放有专用手提式灭火器材。 主走廊、各室安装有烟感、温感报警器、火焰监测器、火灾时的声、光报警器，通过报警系统直接反应在厂消防控制中心的显示屏上，控制中心立即采取应急措施。仓库的火灾检测、有毒检测报警仪表应按强检仪表定期检测或更换。 主走廊和各室都安装有灭火喷淋系统，但遇水或湿 仓库四周应设置醒目的防火标公安部6号令6.1 志，进入库区的人员必须登记，46号 并不准携带火种进入。 仓库的消防设施器材，应由专人6.2 管理、负责检查、维护保养、更换和添置，保证完好有效。 灭火器材应摆放在明显和便于6.3 取用的地方，周围不准堆放物品和杂物。 6.4 库区的消防车道和仓库的安全出口等通道，严禁堆放物品。 ∽ 公安部6号令53号 公安部6号令52号 公安部6号令56号 √ √ √ 贮存化学危险品建筑物内应安装火灾自动监测和报警系统。危6.5 险化学品仓库的安全设施应当定期检测。 GB15603-1995 9.2 国备院令344号23条 √ 6.6 贮存化学危险品的建筑物内，应安装灭火喷淋系统。 GB15603-1995 9.3 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 气时会产生可燃和有毒气体的物质不要放在喷淋水喷头下，如硼酸三乙酯。 仓库供电的电气间与仓库用耐6.7 火4小时的隔墙完全隔离，门朝外单走，与库房不相通。 √ 化学品库、硅烷库除设置火灾检测报警装置外，在化学品库建筑四周的外墙上和硅烷罩棚处都设置了手动报警器和与厂外消防部门直接报警的电话插孔。硅烷库的手动报警器和报警电话插孔可能没有作用，一旦有火灾险情，人员不能在现场停留片刻。 仓库工作人员都进行事先专业培训和在岗培训。 2名仓库工作人员已经危险品管理专项培训考核合格，正在等待发证期间。仓库工作人员同时也是叉车司机，其中一名已取得驾驶证，另一名已考核完毕，也在等待发证期间。 仓库各贮存室、惰性气体存放区，分别设有人员接触到有害物质的冲洗、冲眼设备。 甲类物品库、专业性库，应当按照国家有关技术规范的规定，安6.8 装相应的报警装置，附近有公安消防队的宜设置与其直通的报警电话。 公安部6号令 54条 √ 7 人员、防护、管理 GB15603-1995 11.2 √ 对化学危险品的装卸和管理人7.1 员，进行必要的教育，使其按照有关规定进行操作。 仓库工作人员应进行培训，经考核合格后持证上岗。 7.2 叉车驾驶人员应由取得专门机构颁发的厂内机动车驾驶证的人员担任，无证人员不准驾驶叉车。 在有腐蚀性危险作业环境中，应7.3 设置必要的安全淋浴器、洗眼设备等卫生防护措施。 装卸对人身有毒害及腐蚀性的物品时，操作人员应穿戴相应的防护用品。 7.4 装卸甲、乙类物品时，操作人员不得穿戴易产生静电的工作服、帽和使用易产生火花的工具。 在仓库工具间设有意外事故紧急处理用品柜，柜内备有紧急处GB15603-1995 11.1 ∽ HG20571-95 4.1.4 4.6.5 √ GB15603-1995 8.5 公安部6号令33条 √ 仓库工作人员穿防腐蚀、不产生静电的工作服、帽、带防护眼镜和手套。 7.5 √ 序号 检查项目及内容 理的一切防护用品。 依据法规 检查结果 备注 甲类物品库房内不准设办公室、休息室。库内作业结束后，应当公安部6号令7.6 对库区、库房进行检查，确认安25条、35条 全后，方可离人。 使用危险化学品从事生产的单位，必须建立、健全危险化学品国务院令3447.7 使用的安全管理规章制度，保证号令15条 危险化学品的安全使用和管理。 使用、储存危险化学品的单位，其主要负责人必须保证本单位危险化学品的安全管理符合有7.8 关法律，法规、规章的规定和国家标准的要求，并对本单位危险化学品的安全负责。 8 8.1 废弃物处理 禁止在化学危险品贮存区域内堆积可燃废弃物品。 √ 仓库内没有办公室、休息室，办公室在库外单设。 库内作业结束后，经检查确认后，锁库门，人员离库。 仓库有严格的货物进出制度，人员进出制度，货物管理制度。各室贮存的每一种货物都有中、英文对照的安全技术标签。 本单位主要负责人负责危险化学品的安全工作，并参加了市安全技术监督局举办的危险化学品管理人员专项培训，考核合格也正在等待发证期间。 有危废品库，专门存放废弃的包装物。 废弃的包装容器，在库内的操作间经洗瓶、洗桶机清洗后，由粉碎机粉碎处理，本单位不能清洗处理的装有可燃性、毒性的包装桶，经真空抽空后存在危废库，由环保部门定期拉走，统一处理。 √ 国务院令344号令4条 √ GB15603-1995 10.1 √ 按化学危险品特性，用化学的或8.2 物理的方法处理废弃物品，不得任意抛弃、污染环境。 GB15603-1995 10.3 √ 5.4超纯水制备设施系统安全验收评价单元 5.5锅炉房安全验收评价单元

5.6油罐区、冷冻机房、空压站、水泵房安全评价单元 5.7污水处理站安全评价单元 5.8供配电安全评价单元 5.8.1单元概述

1） 供电电源、电压

该公司由城市供电系统双港和吴庄220kV变电站各引来一路110kV专用架空线路至厂区内的总配变电站。每路架空线路传输容量为50MVA，厂区配电电压为10kV，冷冻机用电电压为3.3kV，低压用电设备电压为380/220V，频率为50Hz。 2） 供配电系统

总配变电站110kV系统采用线路—变压器组方案，即每路110kV架空线路经由电动操作的SF6断路器后接至110/10kV、20MVA油浸式变压器，变压器10 kV出线引至站内的001#和007#配电站10 kV母线，10 kV系统采用单母线分段接线，通过母线分段断路器互为备用，并以放射式向各厂房10 kV配电站馈电，每座厂房10 kV配电站再以环形或放射式的形式向各终端（厂房内）变电站馈电，各终端变电站采用10/0.38 kV干式变压器，380/220V低压系统为单母线，设联络开关。终端变电装置将380/220V电压送至各厂房内的各电气室及用电部位的380V低压开关盘，再以低压开关引至各电动机控制中心MCCS和各层分配电盘；220V电源由位于各电气室和各层的380/220V的可移动式变压器提供。

应急电源由UPS及设置在C厂房内的三台1250 kW的柴油发电机组成。发电机并列运行，出口电压为3.3 kV，送至需要应急电源的厂房内的自动转换开关，再经变压器变压为380/220V馈电给各设备。当一处失电后发电机组自动启动并恢复供电。

在总配变电站中，110/10kV变压器到10kV开关柜采用架空母线

馈电，由总配变电站10kV开关柜到各厂房10kV开关柜的馈电采用地下电缆排管。应急电源采用地下综合管道和桥架向各需要应急电源厂房馈电。 3） 配变电站

全厂设有1座总配变电站、11个10kV配电站、6个终端变电站（电气室）。总配变电站设在厂区西南角，为室外变配电站，接受双港和吴庄110kV馈电，配出10kV。10kV配电站：总配变电站有2个，B厂房有4个，C厂房有2个，H厂房有2个，W厂房有1个，接受总配变电站变压器二次侧10 kV馈电，送出10 kV至各厂房终端变电站。

终端变电站：接受配电站10 kV馈电，经10/0.38 kV变压器变压，送至厂房内各电气间和用电部位。B厂房有3个终端变电站，即东面、东北角、西北角电气室，其余C、H、W厂房各有1个终端变电站。 4）主要电气设备如表5.8.1-1所示。 ①总配变电站

表5.8.1-1 主要设备明细表

序号 1 2 3 4 5 6 设 备 名 称 动力变压器 隔离开关 SF6断路器 电压电流互感器 避雷器 真空断路器柜 规 格 20MVA 110/10 kV油浸式 110 kV 600A 110 kV 2000A N5-650 96 kV 氧化锌 15 kV 小车式 1200A 单位 台 台 台 台 个/组 面 数量 2 8 4 2 18/6 48 说 明 墨西哥产品 有2组备用 S-SWG-NP-001 26面 S-SWG-NP-007 22面

②B厂房配变电站

主要设备明细表

序号 设 备 名 称 规 格 15kV 1200A 内置真空断路器 单位 数量 说 明 S-SWG-NP-002 S-SWG-NP-003 S-SWG-NP-010 S-SWG-NP-011 7面 7面 9面 9面 1 10kV配电柜 面 32 2 3 4 5 6 10 kV隔离开关柜 动力变压器 动力变压器 动力变压器 低压配电装置柜 15kV 1200A 2500kVA 10/0.38 kV干式 1500kVA 10/0.208kV干式 1500kVA 10/0.38kV干式 0.38kV 面 台 台 台 面/套 18 10 7 1 变压器进线柜 含EP变 含EP变 66/9 分别在3个电气室

3） C厂房配变电站

主要设备明细表

序号 1 2 3 4 5 6 7 8 设 备 名 称 10kV配电柜 10kV隔开开关柜 3.3kV隔离开关柜 动力变压器 动力变压器 低压配电装置柜 柴油发电机 配 电 柜 规 格 15kV 1200A 内置真空断路器 15kV 1200A 600A 2500kVA 10/0.38kV干式 1000kVA 3.3/0.38kV干式 10/0.38kV 1250kVA 3.3kV 3.3kV 单位 数量 面 面 面 台 台 面/套 台 面 14 4 1 4 1 20/3 3 25 说 明 S-SWG-NP-004 7面 S-SWG-NP-005 7面 变压器进线柜 EP变进线柜 EP变 美国康明公司产品

4） H厂房配变电站

主要设备明细表

序号 1 2 3 4 5 设备名称 10kV配电柜 10kV隔离开关柜 动力变压器 动力变压器 低压配电装置柜 规 格 15kV、1200A内置真空断路器 15kV 1200A 5000kVA 10/0.38kV干式 2500kVA 10/0.38kV干式 10/0.38kV 单 位 数量 面 面 台 台 14 8 4 4 说明 S-SWG-NP-008 7面 S-SWG-NP-009 7面 变压器进线柜。 面/套 63/4

5） W厂房配变电站

主要设备明细表

序号 1 2 3 4 设备名称 10kV配电柜 动力变压器 动力变压器 低压配电装置柜 规 格 15kV 1200A 内置真空断路器 500kVA 10/0.38kV干式 300kVA 3.3/0.38kV 0.38kV 单位 数量 面 台 台 面 9 1 1 5 说明 S-SWG-NP-006 在室外 在室外 含PE、ATS

5、 站用电源和操作电源 1）站用电源 由分别接于总配、变电站10kV两段母线上的2台45kVA10/0.38kV的变压器提供，当一台站用变掉电后，由转换开关转向另一台站用变。 2）操作电源

110kV线路及变压器的断路器采用48V直流电池作为操作电源。电池系统由免维护直流电池、浮充器和直流盘组成。10kV系统采用双路互投的交流操作，设置弹簧储能机械分闸。 6、 继电保护、自动装置 1）继电保护

110/10kV变压器设有纵联差动、过电流、过电压、瓦斯、温度、油压等保护；变电站中10kV开关柜设瞬时过电流，接地故障保护；终端变电站中干式变压器10kV侧设限流熔断器保护，低压侧主开关设过电流保护。 2）自动装置

10kV母线分段断路器与110kV进线断路器设置联锁。正常运行时10kV母线分段断路器断开，当任一条110kV线路失电时，则10kV母线分段断路器合上。

在每个终端变电所中，两个10kV进线开关设置联锁，当一路电源掉电后，另一路电源合上；如果两路电源都失掉，有低压联络电源的则低压联络开关合上，设有自动转换开关的自动转换开关顺序起动发电机。

供配电系统电气监控设在中控室，通过FMCS系统，对各级电气设备状态、电流、电压、功率、谐波进行监控。

7、 无功补偿与谐波抑制

在每个终端变电站低压侧设电容补偿装置，其容量使其110kV侧全厂平均功率因数补偿

后不少于0.93，同时最大限度抑制谐波。 8、 接地系统 1）工作接地

10kV系统采用直接接地，3.15kV系统采用经电阻接地，380V系统在C和B厂房内采用经电阻接地，其余厂房采用直接接地。 2）保护接地

全厂采用TN-S接地系统，工作零线N和专用保护线G（相当PE）严格分开。变电站内接地系统由直埋铜排、接地极组成。全厂的接地系统成网状连接。变电站内设有重复接地、接地母排，配电装置的金属或钢筋混凝土构架、电气设备的不带电的金属外壳、电缆（线）金属护套及保护管等均与接地装置可靠连接，接地电阻＜1Ω。 9、 过电压与防雷

总配变电站站区分布设置8支避雷针装置，其中6支避雷针、进线架构、母线架构用避雷线成网状连接，以防直击雷。

为防止雷电过电压和系统过电压，在110kV进线及变压器两侧均设有氧化锌避雷器，10kV开关柜内设有过电压保护设施。 10、 照明系统

照明电源由各厂房内终端变电站引来，并经380/220V可移动变压器提供。所有灯具工作电压为220V、单相、50Hz。应急照明由应急电源引来电源，设置专门应急照明盘。 11、 其它

1） 110kV配变电站四周设有2.2m高铁栅栏，两台油浸变压器之间设有防火隔墙，每台变压器底部设储油坑，值班室设有模拟屏，有与电力部门和中控室联络的专用电话。 2） 全厂配变电站均设有集中通风装置和事故排烟风机，设有专用检修电源，设有事故照明、疏散指示、烟感温感探测器，干粉灭火器、喷淋装置、声光报警装置和手动报警按钮，有安全警告标志和门锁。 2 危险、有害因素分析

供配电系统危险、危害因素分为两类：一类是自然灾害如雷击；另一类是电气设备本身和运行过程中不安全因素导致的危险、危害，主要有触电、火灾、爆炸、断电等，分析如下： 1、 触电危险

供配电设备、设施在生产运行中由于产品质量不佳，绝缘性能不好；现场环境恶劣（高温、潮湿、腐蚀、振动）、运行不当、机械损伤、维修不善导致绝缘老化破损；设计不合理、安装工艺不规范、各种电气安全净距离不够；安全措施和安全技术措施不完备、违章操作、保护失灵等原因，若人体不慎触及带电体或过份靠近带电部分，都有可能发生电击、电灼伤的触电危险。特别是高压设备和线路，因其电压值高，电场强度大，触电的潜在危险更大。 2、 火灾、爆炸危险

各种高低压配电装置、电气设备、电器、照明设施、电缆、电气线路等，如果安装不当、外部火源移近、运行中正常的闭合与分断、不正常运行的过负荷、短路、过电压、接地故障、接触不良等，均可产生电气火花、电弧或者过热，若防护不当，可能发生电气火灾或引燃周围的可燃物质，造成火灾事故；在有过载电流流过时，还可能使导线（含母线、开关）过热，金属迅速气化而引起爆炸；充油电气设备（油浸电力变压器、电压互感器等）火灾危险性更大，还有可能引起爆炸。 3、 雷击危险

室外变电站变配电装置、配线（缆）、构架、箱式配电站及电气室都有遭受雷击的可能。若防雷设计不合理、施工不规范、接地电阻值不符合规范要求，则雷电过电压在雷电波及范围内会严重破坏建筑物及设备设施，并可能危及人身安全乃至有致命的危险，巨大的雷电流流入地下，会在雷击点及其连接的金属部分产生极高的对地电压，可能导致接触电压或跨步电压的触电事故；雷电流的热效应还能引起电气火灾及爆炸。 4、 断电危险

对一级用电负荷，如消防水泵、火灾探测、报警和人员疏散指示、危险和有害气体的探测，泄漏的探测，安全出口照明，洗涤塔/有机溶剂的排放，烟尘排放等要求连续可靠供电

的设备、设施及场所，一旦供电中断发生事故，将危及人员健康与生命安全。

此外，本单元还存在室外变电站检修作业人员不慎坠落、SF6泄漏使人窒息等危害。 3 安全检查表 依据GB50052-95《供配电系统设计规范》、GB50053-94《10kV及以下变电所设计规范》、GB50054-95《低压配电设计规范》、GB50057-94《建筑物防雷设计规范》、GB50059-92《35-110kV变电所设计规范》、GB50060-92《3-110kV高压配电装置设计规范》、GB50062-92《电力装置的继电保护和自动装置设计规范》、GB50168-92《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范》、GB50169-92《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GBJ147-90《电气装置安装工程高压电器施工及验收规范》、GBJ64-83《工业与民用电力装置的过电压保护设计规范》、GBJ65-83《工业与民用电气装置的接地设计规范》、GBJ63-90《电力装置的电测量仪表装置设计规范》、GBJ148-90《电气装置安装工程电力变压器、油浸电抗器、互感器施工及验收规范》、JGJ/T16-92《民用建筑设计规范》、DL/T596-1996《电力设备预防性试验规程》等有关标准和规范，编制本单元安全检查表，检查项目、内容及结果见表5.8.3-1。

表5.8.3-1 安全检查表

序号 1 供电电源 检查项目及内容 依据法规 GB50052-95 2.0.2 2.0.6 GB50052-95 3.0.6 GB50052-95 4.0.1 GB50052-95 2.0.2 GB50052-95 3.0.2 GB50052-95 4.0.4 GB50052-94 5.0.3 GB50059-92 2.0.1 GB50059-92 2.0.3 检查结果 一级负荷两路电源供电。 二级负荷两回线路供电。 架空线路传输容量为50MVA/回。 一级10kV配电、低压380/220V。 有三台1250kW独立于正常电源的发电机组及UPS。 设有转换柜、联锁自投。 在终端变电站低压侧设电容补偿装置。 在厂区西南角，距公路、厂房、库房较远。 备注 一级负荷应由两个电源供电，当一个电源发生1.1 故障时，另一个电源不应同时受到损坏，二级负荷宜由两回线路供电。 同时供电的两回及以上供配电线路中一回路1.2 中断供电时，其余线路应能满足全部一级负荷及二级负荷。 当供电电压为35kV及以上时，用电单位的一1.3 级配电电压应采用10kV；低压配电电压应采用380/220V。 一级负荷中特别重要的负荷，除由两个电源供1.4 电外，尚应增设应急电源，并严禁将其它负荷接入应急供电系统。 1.5 1.6 1.7 2 应急电源与正常电源之间必须采取防止并列运行的措施。 正常运行情况下，用电端子处电压偏差允许值应符合规程要求。 采用电力电容器作为无功补偿装置时，宜就地平衡补偿。 110kV配变电站。 √ √ √ √ √ √ √ 变配电室位置应接近负荷中心，进出线方便、接近电源侧、设备运输方便。与爆炸危险场所、2.1 有腐蚀性气体场所、空气污染或有剧烈振动的场所应有足够的距离。 2.2 企业变电所应设置围墙或围栏进行防护。 √ √ 有铁栅栏。 序号 2.3 2.4 检查项目及内容 变电所内为满足消防要求的主要道路宽度，应为3.5m。 地势不低洼、不积水。变配电站场地应有排水措施，所有地段坡度最小不应小于0.3%。 依据法规 GB50059-92 2.0.4 GB50059-92 2.0.5 GB50059-92 3.1.3 GB50059-92 3.2.3 GB50059-92 3.2.5 GB50059-92 3.3.1 检查结果 √ √ 备注 ＞3.5m。 一期工程负荷25MWA，每台主变容量为20MVA。 采用线路变压器组接线。 采用分段单母线。 主变设两台45kVA所用变。 在有一、二级负荷的变电所中宜装设两台主变压器。当断开一台时，其余主变压器的容量不2.5 应小于60%的全部负荷，并应保证一、二级负荷。 2.6 2.7 2.8 35-110kV线路为两回及以下时，宜采用桥形、线路变压器组或线路分支接线。 当变电所装有两台主变压器时，10kV侧宜采用分段单母线。 在有两台及以上主变压器的变电所中，宜装设两台容量相同的互为备用的所用变压器。 √ √ √ √ 重要变电所的操作电源，宜采用蓄电池组， 蓄电池组的容量，应满足： 2.9 1、全所事故停电1h的放电容量； 2、事故放电末期最大冲击负荷容量； 3、应满足分闸、信号和继电保护的要求。 屋外油浸变压器之间，当防火净距小于规范规2.10 定值时，应设置防火隔墙，墙应高出油枕顶，墙长应大于贮油坑两侧各0.5m。 主变压器等充油设备，当单个油箱的油量在1000kg及以上时，应同时设贮油坑及总事故2.11 油池，其容量分别不小于单台设备油量的20%及最大单台设备油量的60%。总事故油池有油水分离功能，出口引至安全处。 2.12 隔离开关与相应的断路器和接地刀闸之间，应装设闭锁装置。 GB50059-92 3.3.4 √ 采用48V蓄电池组。容量为4×100Ah。 GB50059-92 4.6.4 √ 有防火隔墙，长、高符合要求。 GB50059-92 4.6.5 ∽ 有贮油坑，无总事故油池。 GB50059-92 3.6.3 GB50060-92 5.1.1 GB50060-92 5.2.3 GB50060-92 5.3.1 GB50060-92 5.3.1 GBJ64-83 5.1.1 GBJ64-83 5.2.1 √ √ √ √ 有。 符合要求。 单管、支持式。 均有。 查设计资料和历年运行情况，符合要求。 有避雷针及避雷线。 在进线、变压器两侧装有氧化锌避雷器。 2.13 屋外配电装置的安全净距应符合规程规定。 2.14 2.15 管型母线应选用单管结构，固定方式宜用支持式。 屋外配电装置应设置必要的巡视小道及操作地坪。 屋外配电装置架构的荷载应满足运行、安装、2.16 检修、地震等情况时四种荷载组合。 2.17 2.18 变电所的屋外配电装置，应装设直击雷保护装置。 未沿全线架设避雷线的110kV架空线路，在变电所的进线段应按规定装置避雷器。 √ √ √ 序号 检查项目及内容 依据法规 GB50059-92 3.6.1 GB50059-92 4.6.3 DL/T596-1996 4.3 GB50059-92 3.9.6 GB50059-92 3.9.6 GB50053-94 2.0.1 检查结果 √ √ 备注 2.19 配变电站的照度应满足要求。 2.20 配变电站应根据容量大小及其重要性配备适当数量的灭火器材。 有灭火器箱6组。 有天津市电力公司高压供电公司电气试验报告。 三遥。 有 110kV以下的电力设备，除特殊规定者外，应2.21 按“电力设备预防性试验规程”规定进行电气试验。 2.22 2.23 3 工业企业的变电所，宜装设与该企业中控室联系的有关信号，与电力部门通信。 变电所应装设调度通信，企业内部通信，与电力部门通信。 10kV配变电站（室） √ √ √ 配变电站（室）位置应接近负荷中心，进出线方便，接近电源侧、设备运输方便，避开剧烈3.1 振动、高温、多尘、有腐蚀性气体场所，地势不低洼不积水，在火灾爆炸危险区域之外。 配电装置室应设防火门，并应向外开启，装弹3.2 簧锁。相邻配电装置室之间有门时，应能双向开启。 长度大于7m的配电装置室，应设两个出口，并宜布置在配电装置室的两端；长度大于60m3.3 时，宜增加一个出口。当变电所采用双层布置时，位于楼上的配电室至少设一个通向室外的平台或通道的出口。 配变电室应设置防止雨、雪和蛇、鼠类小动物从窗、门、电缆沟等进入室内的设施。 高、低压配电室内，不应有与其无关的管道和线路通过。 变配电所的高压及低压母线宜采用单母线或分段单母线接线。 变压器低压侧电压为0.4kV的总开关，宜采用低压断路器或隔离开关。 配电所所用电源宜引自就近的配电变压器220/380V侧。 √ 符合要求。 GB50060-92 6.0.1 √ GB50060-92 6.0.1 √ 3.4 GB50053-94 6.2.4 GB50053-94 6.4.1 GB50053-94 3.2.1 GB50053-94 3.2.15 GB50053-94 3.4.1 GB50053-94 4.2.6 GB50053-94 4.2.7 GB50060-92 √ 门紧密且上锁，与室外相通的孔、洞有网罩、电缆进入室内的沟、孔、洞均封堵。 分段单母线。 采用低压断路器。 3.5 3.6 3.7 3.8 √ √ √ √ 配电装置的长度大于6m时，其柜（屏）后通3.9 道应设两个出口，低压配电装置两个出口间的距离超过15 m时，尚应增加出口 配电装置室内高压开关柜单列布置时，柜后通3.10 道800mm；柜前通道：固定式1500mm、手车式单车长+1200mm √ √ 净距足够。 序号 检查项目及内容 依据法规 5.3.2 检查结果 备注 配电装置室内高压开关柜双排面对面布置时，3.11 柜后通道800mm；柜前通道：固定式2000mm、手车式双车长+900mm 配电装置室内低压开关柜单列布置时，屏前通3.12 道：固定式1500mm、抽屉式1800mm；屏后通道1000mm 配电装置室内低压开关柜双排面对面布置时，3.13 屏前通道：固定式2000mm、抽屉式2300mm；屏后通道1000mm 3.14 户外箱式变电站的进出线宜采用电缆。 3.15 配变电室的耐火等级不应低于二级。 配变电室采用机械通风时，其通风管道应采用3.16 非燃烧材料制作。当周围环境污秽时，宜加空气过滤器。 3.17 3.18 3.19 4 变电所电气设备间的照明照度应符合标准规定。 在控制室、屋内配电装置室及屋内主要通道等处，应装设事故照明。 由建筑物外引入的配电线路，应在室内靠近进线点便于操作维护的地方装设隔离电器。 变压器、发电机 GB50053-94 4.2.7 GB50060-92 5.3.2 GB50053-94 4.2.9 GB50053-94 4.2.9 GB50053-94 4.1.11 GB50053-94 6.1.1 GB50053-94 6.3.3 GB50034-92 3.2.1 GB50059-92 3.6.2 GB50052-95 6.0.10 GBJ148-90 2.10.2 GBJ148-90 2.10.2 GBJ148-90 2.10.2 GBJ65-83 6.0.14 JGJ/T16-92 6.1.1.3 JGJ/T16-92 6.1.7.3 GB50062-92 2.0.1 √ 净距足够。 √ 净距足够。 √ 净距足够。 √ √ 电缆进出。 二级。 铁皮通风管道，集中通风有过滤器。 有 均有进线隔离开关。 所有部件齐全，不渗油。 √ √ √ √ √ √ √ 4.1 变压器本体及所有附件应无缺损，且不渗油。 4.2 储油柜和充油套管的油位正常。 4.3 油漆光整，相色标志正确。 中性点直接接地的电力变压器，工作接地线应4.4 采用多股铜芯线或铜、钢硬连接线，变压器外壳接地装置连接可靠。 4.5 发电机组应有良好的排烟和通风。 作为应急电源时应设自起的装置，当正常电源4.6 中断供电时，机组自起动，并在15S内向负荷供电。 5 5.1 继电保护 电力设备和线路应装设反应短路故障和异常运行的继电保护和自动装置。 √ 钢接地线。 有集中通风和排烟装置。 15S 线路、变压器、母线、发电机均按规定设√ √ √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 有相应保护。 5.2 继电保护和自动装置应满足可靠性、选择性、灵敏性和速动性要求。 GB50062-92 2.0.3 GBJ63-90 2.1.2 GB50060-92 4.0.15 GB50060-92 5.1.1 GB50168-92 5.1.18 GB50168-92 7.0.2 GB50168-92 8.0.1 GB50168-92 8.0.3 《电规》 第25条 GBJ65-83 2.0.2 GB50169-92 2.3.3 GB50169-92 2.3.3 GB50169-92 2.3.7 √ 有调整记录。 经试运考验能满足要求；现场查验无异常。 有年度检验调整记录。 运行证明。 符合。 均采用镀锌材料，接地电阻＜1Ω。 110kV母线，母线桥，10kV电缆有试验记录，并合格。 采用TN-S系统，N与PE分开敷设。 接地电阻值<1Ω。 常用测量仪表应能正确反映电力装置的运行5.3 参数；能随时监测电力装置回路的绝缘状况。 5.4 有继电保护调整试验报告。 6 6.1 6.2 6.3 6.4 6.5 电气线路 屋外配电装置的导体、套管、绝缘和金具的安全系数应符合规范规定。 无遮栏裸导体，至地面之间安全净距应符合110kV：3400mm 10kV：2700mm。 电缆敷设应排列整齐，不宜交叉，加以固定，并装设标志牌。 在电缆穿过竖井、墙壁、楼板或进入电气盘、柜的孔洞处，用防火堵料密实封堵。 电缆支架、槽盒、保护管等的金属部件防腐层应完好，接地应良好。 √ √ √ √ √ √ √ 6.6 高压电线电缆有试验记录并合格。 7 7.1 系统接地 新建企业380/220V配电系统应采用三相五线制，做到保护零线和工作零线分开敷设。 √ √ 变电所内，不同用途和不同电压的电气设备，7.2 除另有规定者外，应使用一个总的接地体，接地电阻应符合其中最小值的要求。 7.3 7.4 接地线在穿过墙壁、楼板和地坪处应加装钢管或其它坚固的保护套。 接地干线应在不同的两点及以上与接地网相连接。 √ √ √ 有保护管。 多于两点。 明敷接地线应便于检查，敷设位置不应妨碍设备的拆卸和检修，当沿建筑物墙壁水平敷设7.5 时，离地面距离宜为150~300mm，与墙壁间隔宜为10~15mm。 8 安全管理 √ 现场查验符合要求。 火灾报警设有感烟感温探测器、声光报警器和手动报警按钮；灭火器材有干粉灭火器。喷淋装置，变电所应根据容量大小及其重要性，设置火灾8.1 自动检测报警装置，配备适当数量的灭火器材。 GB50059-92 4.6.3、4.6.9 √ 序号 检查项目及内容 依据法规 检查结果 备注 有安全警告标志和门锁。 8.2 制定相应的用电安全规程和岗位责任制。 8.3 8.4 从事电气工作人员必须经安全培训、考试合格，取得资格证书方可上岗。 具有验收调整试验记录，防雷及接地电阻测试记录。 各电气室应备有按规定经定期检查试验合格的电工器具和电工防护用品。 各电气室电气开关柜前操作绝缘板齐全，总配变电站设有模拟屏。 GB/T13869-92 3.1 GB/T13869-92 4.2 行业经验 √ √ √ 见安全管理单元 见电课人员操作证清单。 有试验报告。 各站有工具箱，内置定期检验合格工具及防护用品，有试验报告。 8.5 GB/T13869-92 4.3 √ 8.6 √

4 危险源综合分析

1、 主要危险因素及危险源

该系统存在的主要危险为触电、火灾、爆炸、断电危险，其次是检修时高处坠落、SF6气体泄漏的中毒和窒息危险。其主要危险源点为110kV总配变电站、10kV配电站及10/0.38kV终端变电站（室）。

2、 已采取的主要安全措施

1) 选用先进技术、先进设备提高本质安全性，主要变配电装置采用GE、SQUARED、SIEMENS、CUMMINS、MZXICO产品。

2) 采用两路电源供电，并设有3台柴油发电机组作为应急电源，其切换时间为15秒，供电可靠性要求高的部位如重要工艺设备、计算机系统、FMCS监控系统、安全疏散指示灯还设有UPS电源，电池连续供电时间为15分钟。

3) 110kV系统操作电源采用48V免维护直流电池，10kV系统采用双路互投的交流操作，利用弹簧储能进行分闸操作，保证变配电操作的可靠安全。

4) 电气装置的继电保护设置齐全，并按规范规定定期做试验调整，有试验调整记录。 5) 供配电系统设有电气监控系统，通过FMCS对各级电气设备状态，电压、电流、功率、谐波进行监控，实现“三遥”，终端设在中控室。

6) 在每个终端变电站低压侧设电容补偿装置，其补偿后110kV侧全厂功率因数不小于0.93，同时最大限度抑制谐波。

7) 全厂采用TN-S接地系统。全厂的接地系统成网状连接，接地电阻＜1Ω。电气设备的金属外壳、金属基础及构架、电缆金属护套及保护管等与接地装置均有可靠连接。 8) 总配变电站设有避雷针，避雷网以防直击雷；在110kV进线及变压器两侧设有氧化锌避雷器，10kV开关柜内设有过电压保护设施，以防雷电过电压和系统过电压。

9) 变电站（室）、电气装置布局合理，安全通道安全净距符合要求，电气试验合格；110kV总配变电站四周设有2.2m高铁栅栏，两台油浸变压器之间设有防火隔墙，变压器底部设储油坑，值班室设有模拟屏，有与电力部门和中控室联络的专用电话。 10) 全厂配变电站均设有集中通风装置和事故排烟风机，设有专用检修电源，设有事故照明、疏散指示、烟感温感探测器、干粉灭火器、喷淋装置、声光报警和手动报警按钮，有安全警告标志和门锁。

11) 配变电站制订有：值班人员岗位责任制度，值班人员交接班制度，安全保卫制度，

设备缺陷管理制度，巡视检查制度，倒闸操作制度，检修工作票制度，工器具管理制度；正确施行触电急救，做好事故现场处理，操作规程等。

配变电站值班（电课）人员8人，值班4人，维修4人，均有操作证、等级证、消防证，入网证。各种安全用具齐全、试验合格。 3、 问题与建议

1） 110kV总配变电站20MVA油浸变压器，按GB50059-92第4.6.5条规定：应同时设贮油坑及总事故油池，经查验无总事故油池。为安全起见，建议后期工程按规范规定补建。 2） “电业安全工作规程”DL408-91第11条规定：室内高压设备且有安全措施者，可由单人值班。本公司110kV配变电站为室外露天站，设备无遮拦，就与单人值班条件不符，况且一人值班也不是坐班制，而是巡查制，一旦突发事故，很可能因无人值班延误处理或事故扩大，同时一人巡视、操作不安全，建议安排两人值班。 5 评价结论

该供配电系统能满足工艺要求，环境要求，电源及供电方案、配变电站（室）位置选择合理，设备先进，电气装置的布置、安全通道、安全净距符合要求，安全保护设施设置齐全，基本符合国家现行有关标准、规范要求，同时，原业主MOTOROLA几年投产运行的实践也验证了该供配电系统本质安全是有保证的。只要对尚存的问题认真整改，重视防范人的不安全因素，提高安全意识，严格安全管理，供配电才能实现真正的安全运行。

5.9安全生产管理安全评价单元