沉积蒸发系统

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201510349888.4 （22）申请日 2015.06.19

（71）申请人 杭州士兰集成电路有限公司

地址 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街(东)308号

（10）申请公布号 CN104911547B

（43）申请公布日 2018.05.11

（72）发明人 乐仲;孙福河;闻永祥;曹永辉

（74）专利代理机构 北京成创同维知识产权代理有限公司

代理人 柳兴坤

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

沉积蒸发系统

（57）摘要

本发明涉及一种沉积蒸发系统，用于

对基片进行倾斜蒸发沉积，包括动力机构、沉积蒸发传动装置和真空蒸发器，所述动力机构与所述沉积蒸发传动装置相连接，用于驱动所述沉积蒸发传动装置转动；所述真空蒸发器位于所述沉积蒸发传动装置的下方；所述真空蒸发器的蒸发源面向所述沉积蒸发传动装置放置，所述蒸发源的纵向中心线与基片所在平面平行，所述沉积蒸发传动装置包括旋转架、基片载具和轨道，所述蒸发源的纵向中心线经过所述轨道所在圆的圆心。

本发明提供的沉积蒸发系统具有多片蒸发、每个基片旋转速度可调和每个基片的倾斜角度可调等优点，可有利于产能提升和生产成本的降低，更适用于倾斜角蒸发纳米结构薄膜的批量生产。 法律状态

法律状态公告日2015-09-16 2015-09-16 2015-10-14 2015-10-14 2018-05-11

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

沉积蒸发系统的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

沉积蒸发系统的说明书内容是....请下载后查看