专利名称：玻璃基板的蚀刻处理方法专利类型：发明专利
发明人：西条佳孝,铃木祐一,秋山良司,竹中敦义,加濑准一郎申请号：CN200880116763.5申请日：20081114公开号：CN101868428A公开日：20101020
摘要：本发明提供以玻璃基板的薄板化为目的、蚀刻速度高并且可以抑制在玻璃基板表面产生雾度的蚀刻处理方法。本发明涉及一种玻璃基板表面的蚀刻处理方法，以1～690μm的蚀刻量对玻璃基板表面进行蚀刻处理，其特征在于，所述蚀刻处理通过HF浓度为1～5重量％、HCl浓度为1重量％以上的蚀刻液进行。
申请人：旭硝子株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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