专利名称：一种非晶态透明导电薄膜的晶化装置专利类型：实用新型专利
发明人：李佳明,颜悦,姜良宝,陈牧,李晓宇,马一博,雷沛申请号：CN201821093591.1申请日：20180711公开号：CN208532924U公开日：20190222
摘要：本实用新型涉及一种非晶态透明导电薄膜的晶化装置，尤其涉及非晶态ITO透明导电薄膜的红外晶化装置。真空腔室分别与真空泵、真空度测量装置、气体流量计连接，并在腔室侧壁上安装进气管道；在真空腔室内放置红外加热灯管，红外灯管背部表面涂有一层反射层材料；红外灯管固定在灯架上，灯架安装在真空腔室内部的顶部，灯架上装有固定灯管的夹具，并在灯架顶端开槽，夹具位于槽内；在灯管下方放置一个样品支架，所述样品支架安装在真空腔室底面，样品支架的支架腿上设有滑轨，样品支架的样品托板固定在支架腿上，在样品托板中间区域开槽；样品支架上方安装测温装置，测温装置与红外灯管通过法兰盘与真空腔室外的温度反馈控制装置相连。
申请人：中国航发北京航空材料研究院
地址：100095 北京市海淀区北京市81号信箱科技发展部
国籍：CN
代理机构：中国航空专利中心
代理人：李建英
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容