专利名称：一种侧边紧凑贴合的晶圆取放装置专利类型：实用新型专利发明人：巩铁建,陶为银申请号：CN202021901187.X申请日：20200903公开号：CN212587471U公开日：20210223
摘要：本实用新型公开了一种侧边紧凑贴合的晶圆取放装置，包括滑动臂、转动臂、吸盘和吸空机，所述滑动臂下侧安装有固定板，且固定板下端安装第二液压机，且第二液压杆下端安装有吸空机，同时吸空机下端安装有底板，且底板下端安装有设置了真空吸管的吸盘，并且底板下侧设置有缓冲块，且底板左侧安装有设置了防磨壁的半环外壁，同时半环外壁设置有定位槽，滑动臂左侧安装有第一液压机，滑动臂下端安装有滑块，且滑块下端设置有转动臂，并且转动臂设置有滑槽，且转动臂下端电机。该侧边紧凑贴合的晶圆取放装置，结构设置合理，通过吸空机和吸盘，避免了直接与圆晶底部接触造成直接式的磨损，同时设置的防磨壁和缓冲块，避免吸附时的磨损。
申请人：河南通用智能装备有限公司
地址：450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号
国籍：CN
代理机构：郑州中原专利事务所有限公司
代理人：范小方
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