（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201410620690.0 （22）申请日 2014.11.06
（71）申请人 上海现代先进超精密制造中心有限公司
地址 200433 上海市杨浦区国定路335号2号楼2401室
（10）申请公布号 CN104359655A
（43）申请公布日 2015.02.18
（72）发明人 施丽敏
（74）专利代理机构 上海新天专利代理有限公司
代理人 张宁展
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
离轴抛物面镜焦距的检测装置与检测方法
（57）摘要
一种离轴抛物面镜焦距的检测装置，由斐
索干涉仪及其标准平面镜、五维调整架、补偿小球及其三维调整架、承托固定底板和三坐标测量机组成，标准平面镜是所述的斐索干涉仪的光束输出窗口，所述的五维调整架的顶面固定一基座，在该基座固定待测离轴抛物面镜和一辅助圆柱，所述的补偿小球及其三维调整架须放置于待测离轴抛物面镜的焦点处，以上所述的五维调整架及待测离轴抛物面镜、补偿小球及其三维调整
架固定于所述承托固定底板上，所述的斐索干涉仪位于所述的基座摆放待测离轴抛物面镜的正上方，三坐标测量机在另外位置。本发明能够准确测量待测离轴抛物面的焦距，弥补了现有技术中的空白。
法律状态
法律状态公告日
2015-02-18 2015-03-25 2017-06-06
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
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发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
离轴抛物面镜焦距的检测装置与检测方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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