专利名称：具有温度稳定输出的电容式传感器专利类型：发明专利
发明人：奥拉夫·文尼肯,弗雷德里克·万海尔蒙特,威廉·弗雷德
里克·贝斯林,雷姆卡·亨里克斯·皮内伯格,卡斯·范德阿福尔特,安德森·辛格拉尼,马基恩·戈森斯
申请号：CN201980026739.0申请日：20190425公开号：CN112055694A公开日：20201208
摘要：一种示例系统，包括传感器。该传感器包括具有基底电极的基底以及悬在该基底上方的第一膜。第一膜包括第一膜电极。第一膜被配置为响应于环境条件而相对于基底电极偏转。传感器可操作以测量基底电极与第一膜电极之间的电容。该系统还包括第一导电屏蔽层，该第一导电屏蔽层定位在传感器与该系统的可操作以生成电干扰信号的设备之间。第一导电屏蔽层限定延伸穿过该第一导电屏蔽层的多个第一孔。该系统还包括设置在多个第一孔中的介电材料。
申请人：希奥检测有限公司
地址：荷兰埃因霍温
国籍：NL
代理机构：北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙)
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