高性能集成锁相环中低失配电荷泵的设计
2020-11-01
来源:爱问旅游网
第39卷第6期 2017年6月 电子与信息学报 VlO1.39No.6 Jun.2017 Journal of Electronics&Information Technology 高性能集成锁相环中低失配电荷泵的设计 施展① 余隽④ 唐祯安 ① 蔡泓① 冯大连116024) 冲①@ (大连理工大学电子科学与技术学院(大连民族大学信息与通信工程学院 大连摘116600) 要:在分析电荷泵结构、工作原理和产生杂散机理的基础上,该文提出了一种低静态电流失配、低时序失配的 高性能电荷泵。此电荷泵通过减小电荷泵开关过程中时序失配和电流失配,减小了高频锁相环中的抖动和杂散。基 于中芯国际0.18 LLm CMOS射频工艺技术和1.8 V电源电压,对采用此高性能电荷泵的锁相环进行了相位噪声仿 真。仿真结果验证了这些锁相环具有低噪声特性:在480 MHz的输出频率下,二阶锁相环的周期抖动为1.05 ps, 最大参考杂散为-121 dBc。 关键词:集成电路;锁相环;抖动;参考杂散 中图分类号:TN43 DOI:10.1 1999/JEIT160826 文献标识码:A 文章编号:1009—5896(2017)06—1472.07 Design of a Low・spur Charge Pump for High Performance CMOS Phase・locked Loops SHI Zhan① YU Jun①TANG Zhen’an① CAI Hong① FENG Chonge② ①(School of Electronic Scie ce and Technologyj Dalian University of Technolog ,Dalian 116024,China) @(College of Information&Communication Engineering,Dalian Minzu University,Dalian 116600,China) Abstract:On the basis of the analysis of the structure,operation principle and mechanism of generating spurs of the charge pump,a charge pump with a low static current mismatch and a low timing mismatch is proposed.This charge pump suppresses the jitter and spurs in high-speed Phase-Looked Loops(PLL)by improving the timing mismatch and the current mismatch during switching in the charge pump.Based on the SMIC 0.18 um CMOS radio frequency technology with 1.8 V power supply,the phase noise simulation of the PLLs adopting the proposed charge pump is performed.The simulation results demonstrate that those PLLs achieve a low noise performance: the second—order PLL shows a period jitter of 1.05 ps and the largest reference spur of一121 dBc with the PLL output frequency of 480 MHz. Key words:Integrated Circuits(IC);Phase-Locked Loop(PLL);Jitter;Reference spur 1 引言 为了满足市场对多功能、低成本及小体积通信 电荷泵(Charge Pump,CP)是PLL环路常用的 模块,因为采用电荷泵的PLL具有捕获范围广、锁 定状态相位误差低等优点。电荷泵的作用是把鉴相 产品不断增加的需求,锁相环(PLL,Phase。Locked Loop1已广泛采用CMOS工艺【1,2]与其它通信模块一 鉴频器(Phase/Frequency Detector,PFD)的输出脉 冲信号转化为相应的电流信号。此电流信号经过低 通滤波器(Low-Pass Filter,LPF)后转换成电压信 起集成至单片芯片中。随着通信系统工作频率的不 断升高,PLL对噪声的要求越来越高。时域上,工 作频率升高,周期变短,抖动[31对PLL输出时钟信 号的影响变大。频域上,频率增加,相位噪声和杂 散f , ]对PLL输出信号频谱造成更加恶劣的影响。噪 声已成为高速集成PLL的关键性能指标。 号,控制压控振荡器(Voltage—Controlled Oscillator, vco)输出信号的频率。此电压信号的任何波动都会 干扰VCO的输出信号,在PLL中引入抖动和参考 杂散[6’7】。参考杂散严重影响PLL输出信号的质量。 对于高速接口的应用,参考杂散减小眼图的开口度, 影响眼图质量。 本文首先介绍了传统CP的结构和工作原理, 收稿日期:2016—08-03;改回日期:2017-02 08;网络出版:2017-04—06 通信作者:唐祯安tangza@dlut.edu.an 基金项目:国家自然科学基金(61131004,61274076,61001054) Foundation Items:The National Natural Science Foundation of China(61131004,61274076,61001054) 并详细分析了CP的非理想特性引入杂散到PLL的 机理以及改进传统CP非理想特性的方法和局限性。 其次,介绍了一种低静态电流失配的CP结构,在 第6期 施展等:高性能集成锁相环中低失配电荷泵的设计 1473 此基础上提出了一种低静态电流失配、低时序失配 的高性能CP。最后采用所提的高性能CP,基于中 芯国际0.18 m CMOS射频工艺技术和1.8 V电源 电压,设计了高速、低杂散集成锁相环,并通过此 PLL的噪声仿真,验证了所提CP对PLL杂散性能 的改进。 . 号,使CP的电流源I1和I2同时导通。故CP通常 只有表1中后3种状态。理想CP的两个电流源I1 和I2完全匹配,不会引入抖动和参考杂散。而实际 的CP由于非理想特性的存在,会在PLL输出中引 入抖动和参考杂散。 2.2 CP的非理想特性 实际CP的非理想特性主要包括漏电流、电流 失配、时序失配[8-1ol,它们将抖动和参考杂散引入 至PLL输出信号。由以上非理想现象引入的总相位 误差△虫。 可以近似表示为[11,12) △ =△奄k+A i +△露 :2 CP原理及非理想特性 2.1 PLL基本原理及CP功能 如图1所示,典型的整数N型电荷泵PLL由 PFD,CP,LPF,VCO和1/N分频器构成,它可以 实现N倍频功能。PFD比较输入参考信号和分频器 输出信号的相位误差,并输出有效值与相位误差成 比例的脉冲信号。此脉冲信号控制CP的上下两个 电流源I1和I2,对LFP进行充电或放电,调节VCO 的输出频率,使VCO输出频率的1/N信号与输入 参考信号的相位相等,实现N倍频功能。从整数N 型电荷泵PLL原理可以看出,CP是此类PLL的关 键模块。CP性能的好坏直接影响PLL的输出信号 特性。 2 l【 j+ cp Icp Tref + J l(1) 一 其中,t。是电荷泵的输出电流, 是电荷泵的漏 电流, 。 是输入参考时钟的周期, 是PFD的复 位信号导通时间,△ 和△ 分别表示电荷泵的失配 电流和失配时间。式(1)表明总相位误差主要由△ 引入。随着PLL输入时钟频率的升高,△ 造成的 相位误差逐渐增加。由于 为pA量级【13],因此对 相位误差的影响最小。 由CP非理想现象引入的参考杂散可以通过窄 带调频理论计算。假设CP的输出电压 TRL(t)可以 表示为:YcTRL( )=Am COS(OJreft)。根据VCO输入 输出关系,可以计算出PLL在频率偏移fm= 。f处 的参考杂散 为 r^Ⅳ 、 P:r 201 gI一I 2 其中, ref J I dB c f2)2 一 ∞表示VC0的增益,单位为Rad/(s'V)。 由式(2)可知,PLL的参考杂散和cP输出电压的变 化幅度、VC0的增益和输入参考频率有关。实际应 图1典型的整数N型电荷泵PLL 用中,VC0的增益及输入参考频率通常由应用环境 决定。 3传统CP结构及改进 理想的CP(图1)由两个电流值相等的电流源I1 和I2以及相应的控制开关S1和S2组成,它的状态 如表1所示。为了消除PFD死区,在PLL进入锁 3.1传统CP结构及其缺点 图2展示了传统CP的电路实现。充电电流I1由 PMOS电流镜(M5,M1)实现,开关s1由工作在线 性区的PMOS管M2实现。放电电流I2由NMOS 定状态后,PFD会输出两个宽度相等的窄脉冲信 表1 cP状态表 1474 电子与信息学报 第39卷 图2传统CP的电路实现 电流镜(M6,M4)实现,开关S2由工作在线性区的 NMOS管M3实现。UP和DN为PFD输出信号, 分别控带0I1和I2。 图2所示的传统CP结构虽然实现了CP的基 本功能,但存在I1和I2不匹配的问题。由于沟道长 度调制效应的存在,当M1的漏极电压 与M5的 漏极电压 不相等时,Il与Ibl不等。同理,I2与 Ib2不等。因此,即使在Ib1=Ib2及电路完全匹配 的情况下,I1和I2仍不相等,会在PLL输出信号 中引入抖动和参考杂散。由于高速集成PLL通常采 用小特征尺寸的CMOS工艺以减小寄生电容的影 响,而沟道长度调制效应在小特征尺寸CMOS工艺 下更加显著,因此,传统CP的电流失配问题在高 速集成PLL中更加严重,由此造成的抖动和参考杂 散也更加显著。此外,当PLL输出频率需要在大的 范围内可调时,CP的输出电压通常也在大的范围内 变化,此时沟道长度调制效应造成的电流失配也更 加显著。 3.2传统CP的局限性 由于传统CP存在由沟道长度调制效应引起的 电流失配问题,许多文献提出了相应的改进方案。 改进的思路主要有两种:第1种是提高CP电流源 的输出阻抗[s,14,15],降低沟道长度调制效应的影响; 第2种是探测失配电流,并通过模拟[4,16]或数字校验 技术 进行电流补偿,减小I1和I2的不匹配。 提高CP电流源输出阻抗的方法主要有采用共源 共栅结构电流源【8】及增益提高技术(gain-boosting)的 电流源[14,15]。采用共源共栅结构IS]消耗了额外的电压余 度,降低了CP的输出摆幅,使CP有限输出摆幅的 问题更加严峻。而采用增益提高技术的电流源[14,15], 由于PMOS和NMOS电流源本身跨导和输出阻抗的 不同,I1和I2的不匹配依然存在。此外,该技术还引 入了额外的极点,降低了CP的工作速度。 模拟[4,16]或数字[17】校验技术需要共模反馈电路、 差分放大器等电路,带来稳定性问题。此外,差分 放大器的非理想特性如失调等问题也限制了此方法 的最小探测极限。 4高性能CP 4.1降低静态电流失配 由于传统CP存在诸多问题,文献『18,191提出 了一种低静态电流失配CP,电路结构如图3所示。 此CP的充电电流 和放电电流厶 均由一个类差 分放大器拓扑结构的单元电路实现。 电流通过 电流镜(M3,M9)输出至后级的LPF。DNp,DNn, UPp和UPn是PFD的输出控制信号,通过开关管 M1,M2和M6,M7,控制IDN和厶『P,决定是否作 用到后级的LPF。DNp和DNn为互补信号,UPp 和UPn亦为互补信号。 由于文献[18,19】所提CP(如图3所示)的左右两 部分拓扑结构类似,通过采用相同的M0S参数和 合理的版图设计,可以保证节点DNOP的电压 N0P等于电荷泵的输出电压 。因为 o = ,所以消除了沟道长度调制效应的影响,使 jDN=IM3= 0。因为juP=IM5,jM0=jM5,故 IDN=IVP,实现了低静态电流失配。当 需要在 大范围内可调时,通过调节CP的偏置电压 可 改变 。对于不同的 ,‰oP始终与之相等, 故不存在沟道长度调制效应造成的电流失配,该CP 能在可调范围内维持低静态电流失配。 此外,PFD两个输出控制信号到达文献[18,19】 所提cP(如图3所示1的延时偏差比到达传统CP( ̄N 图2所示)的延时偏差更小。图3中,NMOS管M1 为 的控制开关,而NMOS管M7为厶『P的控制 开关。由于M1和M7的尺寸和偏置状态相同,故 它们在PFD输出节点DNn和UPn呈现的寄生电容 近似相等,使DNn和UPn到CP的延时近似相等。 而图2所示传统CP分别采用PMOS开关管M2和 NMOS开关管M3控制n和 2,它们在PFD输出 节点DNn和UPn呈现的寄生电容不相等,故DNn 和UPn到CP的延时不相等。因此,PFD两个输 出控制信号到达文献『18,19】所提CP的延时偏差更 小,由此引起的失配更小。 4.2降低时序失配 尽管图3所示的CP静态电流失配几乎为零, 但是 和厶 开关时间失配是非常显著的。 N的 通道是“慢速通道”(M0,M1,M3,M9),而厶 P的 通道是“快速通道”(M5,M7)。故 的开关时间 长于厶 的开关时间。由于上述开关时间的失配, CP会周期性地向LPF注入或抽取电荷,引起VCO 的控制电压的波动,在PLL输出信号中引入抖动和 参考杂散。随着CP工作频率的提高,这个问题变 得更加显著。 第6期 施展等:高性能集成锁相环中低失配电荷泵的设计 1475 图3低静态电流失配CP 为了减小 和厶 开关时间失配,需要减小 的开关时间而不是增加厶 的开关时间,以使 CP能够在更高的频率工作。本文提出图4所示的电 荷泵,它可以在维持CP低静态失配电流的同时, 减小 的开关时间。相较于图3所示的低静态电 流失配CP,它增加了一个“CP半支路复制电路” 和一个多路选择a(MUX1。CP半支路复制电路中 的M10,Mll和M12的MOS管尺寸分别与M0,M1 和M3的MOS管尺寸成比例。通过这种设计,在 DNn=1和UPn=1时,可以使 P2: NOP=Vo t。 以 导通过程为例,阐述此CP减小开关时间 失配的原理。电路起始状态:DNP=l,DNn=0, 同时MUX连接DNOP至电源,此时ID =0。当 DNp变为低电平,DNn变为高电平,MUX连接 DNOP至BP2。节点DNOP放电时间 为 i。 =CDNOPA NoP//ai。 (3) 其中, NoP是节点DNOP的寄生电容,△ N0P是 DNOP放电过程中的压降, 是放电电流。此时, 放电电流由流经M0的电流 。和CP半支路复制电 路放电电流厶D。组成。当 oP等于 P 时, 。。 消失。此时 o =Vo ,徽 = ,维持电流匹配。 相对于图3的CP,本文所提CP在 导通过程中 提供了额外电流 。D,减小了 。它在维持静态 电流匹配的同时,减小了 的开启时间,从而减 小开关时间失配。 4.3低静态电流失配、低时序失配的高性能CP设计 本文在文献[18,19】所提低静态电流失配CP的 基础上,改进了时序失配,提出图5所示高性能CP。 该CP除增加半支路复制电路外,还采取了其它措 施减小失配。首先,为了进一步减小 ,在BP2和 。  ̄n2 际 m M s M世 n : 。 \ 。 s 图4增加CP半支路复制电路的低静态电流失配CP ,臀dEiCMI[DNn Cl—NMp] 2UPp 图5本文提出的高性能cP 地之间插入一个MOS电容CM1。当DNOP和BP2 相连时,该电容提供另一个放电通路。其次,在CP 的两个偏置电流源M0和M5的漏极分别增加M0S 电容CM2和CM3,使 和厶 更加稳定。最后, 设计了虚拟(dummy)模块以确保PFD输出控制信 号UPp,UPn,DNp和DNn驱动相等的负载电容, 减小时序失配。 5仿真验证 5.1 CP电路仿真 为了验证改进CP失配方法的有效性,设计了 图6所示的测试电路。UPp,UPn,DNp和DNn的 频率为30 MHz,脉冲宽度为2.1 DS。UPn和DNn 分别为UPp和DNp的互补信号。直流电压源的电 压为0.734 V。电流探测器检测电流失配。采用 Cadence Spectre对图3所示的低静态电流失配 CP(CP1)和图5所示本文所提的高性能CP(CP21 进行了瞬态仿真,结果如图7所示。图7 fa)展示了 输出电流,而图7 fb) ̄JJ展示了相应的控制电压。仿 真结果显示:CP在开启过程中的时间失配△ 从 原始(CP1)的796 ps减d,N改进后(CP21的157 ps; 在关断过程中的时间失配Atoff从原始(CP1)的1036 ps减d,N改进后(CP2)的108 ps。表2总结了CP1 和CP2在不同工艺角下的开关时间失配和电流失 配,其中“改善”=f1一CP2值/CP1值1×100%。 5.2电荷泵PLL仿真 为了验证所提的高性能CP对PLL杂散的抑制 作用,基于中芯国际0.18 m CMOS射频工艺技术 和1.8 V的电源电压,根据文献『18,191设计了一个 16倍频的电荷泵PLL,如图8所示。文献f18,191所 提的电荷泵PLL,具有抗电源/衬底噪声能力强、输 出频率范围广的优点,被广泛应用于数字电路、通 信和无线系统等领域[20-221。图8所示PLL的16分 频a(1/N)采用了D触发器构成的4位计数器结构, 图6仿真CP失配的测试电路 第6期 施展等:高性能集成锁相环中低失配电荷泵的设计 1477 表3的数据验证了本文所提高性能CP抑制高 速PLL参考杂散的有效性。相较于PLLI,采用本 0.18 LLm CMOS射频工艺技术,设计了3种不同结 构的PLL并进行了相应的相位噪声仿真。仿真结果 文所提高性能CP(CP3)的PLL(PLL2)的周期抖动 和参考杂散显著降低。此外,增加电容C (PLL3) 可进一步减小周期抖动和抑制高频参考杂散:相较 显示:在480 MHz的输出频率下,与采用低静态失 配CP的PLL相比,采用本文所提高性能CP的二 阶PLL周期性抖动从26.50 ps降为1.05 ps,频率 偏移等于输入参考频率处的杂散从-84.0 dBc降为 一于PLL2,PLL3的周期性抖动和杂散显著降低。 6结束语 本文介绍了CP的结构和工作原理,分析了CP 引入杂散到PLL的机理以及改进传统CP非理想特 120.6 dBc。以上结果充分证明了本文所提高性能 CP可以有效减小PLL的抖动和参考杂散。采用本 文所提高性能CP的PLL潜在应用包括:数字系统 性的方法和其局限性。在低静态电流失配CP结构 和高速串/并行通信系统的时钟倍频器、高性能数模 的基础上,提出了一种低电流失配和低时序失配的 转换器的多时钟发生器、多标准收发器的频率合成 高性能CP。为验证所提CP的性能,基于中芯国际 器等。 表3 3种不同结构PLL的噪声特性 参考文献 integer—N QPLL with reference spur reduction technique for uwB—based cognitive radios[C].Proceedings of the IEEE 黄水龙,王志华.快速建立时间的自适应锁相环fJ_.电子与信 Radio Frequency Integrated Circuits Symposium(RFIC), 息学报,2007,29(6):1492—1495. Phoenix,AZ 2015:67—70.doi:10.1l09/RFIC 2015.7337706. HUANG Shuilong and WANG Zhihua.An adaptive PLL BANERJEE D.PLL Performance,Simulation and Design[M]. architecture to achieve fast settling time[J].Journal of Texas:Dog Ear Publishing,2006:64—65. Electronics& Information Technology, 2007, 29(6): 陈永聪.集成CMOS锁相环中抑制参考杂散的设计方法_J_. 1492~1495. 半导体学报,2006.27(12):2196—2202. 李学初,高清运,陈浩琼,等.CMOS集成时钟恢复电路设计 CHEN Yongcong Design technique to restrain reference [J1.电子与信息学报,2007,29(6):1496—1499. LI Xuechu,GAO Qingyun,CHEN Haoqiong,et a1.The spurs in CMOS phase lock loops[J]. Journal of design of monolithic CMOS clock recovery circuit[J].Journal Semiconductors,2006,27(12):2196—2202. of Electronics&Information Technology,2007,29(6): 8 RHEE W.Design of high—performance CMOS charge pumps 1496—1499. in phase—locked loops[C].Proceedings of the IEEE Circuits LIU L and POKHAREL R.Compact modeling of and Systems,Orlando,FL,1999,2:545—548.doi:10.1109/ phase-locked loop frequency synthesizer for transient phase ISCAS.1999.780807. noise and jitter simulation[J].IEEE Transactions on 9] MANIKANDAN R R and AMRUTUR B. A zero Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, charge—pump mismatch current tracking loop for reference 2016,35(1):166—170.doi:10.I109/TCAD.2015.2472018. spur reduction in PLLs[J].Microelectronics Journal,2015, GIERKINK S L J.Low-spur.1ow—phase—noise clock multiplier 46(6):422—430.doi:10.1016/j.mejo.2015.03.004. based on a combination of PLL and recirculating DLL with ZHANG Z,YANG J,LIU L,et a1.Source—switched charge dual—pulse ring oscillator and self-correcting charge pump[J]. pump with reverse leakage compensation technique for spur IEEE Journal of Solid-State Circuits,2008,43(12): reduction of wideband PLL[J].Electronics Letters,2016, 2967—2976.doi:10.I109/JSSC.2008.2006225. 52(14):1211—1212.doi:lO.1049/e1.2016.1036. KIM N S and RABAEY J M.A 3~10roW,3.1~10.6 GHz 11 LI S,JIANG J,ZHOU X,et a1.A low phase noise and low 1478 电子与信息学报 第39卷 spur PLL frequency synthesizer for GNSS receivers[J]. Journal of Semiconductors,2014,35(1):96—103.doi: 10.1088/1674—4926/35/1/0150¨04. [12]LOZADA O and ESPINOSA G.A charge pump with a 0.32%of current mismatch for a high speed PLL[J].Analog Integrated Circuits&Signal Processing,2015,86(2):321—326. doi:10.1007/s10470-015—0676一Y. 【13】 薛红,李智群,王志功,等.低杂散锁相环中的电荷泵设计[J]. 半导体学报,2007,28(12):1988—1992. XUE Hong,LI Zhiqun,WANG Zhigong,et a1.A charge pump design ofr low—spur PLL[J].Journal ofSemiconductors, 2007,28(12):1988—1992. [141 CHOI Y S and HAN D H.Gain—boosting charge pump ofr current matching in phase—locked loop[J].IEEE Transactions on Circuits and S stems II:Express B 8,2006,53(10): 1022—1025. [15]GUPTA S,MONDAL S A,and RAHAMAN H.Charge pump circuit with improved absolute current deviation and increased dynamic output voltage range across PVT variations[C].Proceedings of the 2015 IEEE Asia Paciifc Conference on Postgraduate Research in Microelectronics and Electronics(PrimeAsia),Hyderabad,2015:32—35.doi :10.1109/PrimeAsia.2015.7450465. 【16]MOON J W,CHOI K C,and CHOI W Y.A 0.4-V,90~ 350一MHz PLL with an active loop-iflter charge pump[J】. IEEE Transactions on Circuits and Systems II:Express Bri咖,2014,61(5):319—323.doi:10.1l09/TCSII.2014. 2312800. [17]WANG S F,HWANG T S,and WANG J J.Phase—locked loop design with fast—digital—calibration charge pump[J]. International Journal of Electronics,2015,103(2):卜13.doi: 10.1080/00207217.2015.1036371. [181 MANEATIS J G.Low-jitter process—independent DLL and PLL based on self-bisaed techniques[J].IEEE Journal of Solid—State Circuits,1996,31(11):1723—1732. 【19]MANEATIS J G,KIM J,MCCLATCHIE I,et a1.Self-biased high—bandwidth low-jitter 1-to一4096 multiplier clock generator PLL[J].IEEE Journal of Solid—State Circuits,2003, 38(11):1795—1803.doi:10.1l09/JSSC.2003.818298. [20】KIM S H and CHO S B.Low phase noise and fast locking PLL frequency synthesizer for a 915 MHz ISM band[C]. Proceedings of the 2007 International Symposium on Integrated Circuits,Singapore,2007:592—595. [211 CHU A,DEO N,AHMAD W,et a1.An ultra-low power charge-pump PLL with high temperature stability in 130 nm CMOS[C].Proceedings of the IEEE New Circuits and Systems Conference,Grenoble,2015:1—4.doi:10.1109/ NEWCAS.2015.7182075. 22] MENG X and LIN F.Clock generator IP design in 180 nm CMOS technology[J].Analog Integrated Circuits&Signal Processing,2016,87(3):卜9.doi:10.1007/s10470—016—0737-x. 23] THIBIER0Z H. Using spectre RF noise-aware PLL methodology to predict PLL behavior accurately[OL]. https://zh.scribd.com/document/67585642/Using-Spectre—R F—Noise—Aware—PLL-Methodology-to-Predict・-PLL—Behavior・- Accurately,2007. 【24】 张昌明,肖振宇,曾烈光,等.基于IEEE 802.1lad标准的单 载波60 GHz通信系统性能分析[J].电子与信息学报,2012, 34(1):218—222.doff 10.3724/SP.J.1146.2011.00447. ZHANG Changming,XIAO Zhenyu,Zeng Lieguang,et a1. Performance analysis of Single-Carrier(SC)60 GHz communication system based on IEEE 802.1lad standard[J]. Journal Electronics&Information Technology,2012,34(1): 218—222.doi:10.3724/SP.J.1146.2011.00447. [25] 马晓慧,邹传云.数字超宽带信号的功率谱密度fJ1.电子与信 息学报,2007,2g(8):1877—1881. MA Xiaohui and ZOU Chuanyun.Power spectral density of digital ultra wide-band signals[J].Journal Electronics& Information Technology,2007,29(8):1877~1881. 施展 男,1984年生,博士生,研究方向为模拟及数模混合集 成电路设计. 余隽 女,1977年生,副教授,主要从事微热板传感器、微纳 电子器件传热以及传感器与集成电路的单芯片集成方面 的研究. 唐祯安: 男,1955年生,教授,主要从事集成电路设计及制造、 半导体传感器及其应用、微器件中的微尺度输运理论方 面的研究. 蔡泓: 女,1992年生,硕士生,研究方向为半导体传感器及其 相关电路的单芯片集成. 冯冲: 男,1977年生,讲师,主要从事热辐射传感器及其系统 集成、微纳尺度辐射传热理论方面的研究.