XPS谱图都包括些啥?
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发布时间：2024-12-20 07:36
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时间：3分钟前
在XPS谱图分析中，关键信息包括光电子谱线、卫星峰、俄歇电子谱线、自旋-轨道(SOS)等元素特征。光电子谱线是定性分析的基础，如In元素的In 3d为主谱线；卫星峰（伴峰）则源自非单色X射线源激发的额外信号，如Mg C1s谱图中的伴峰。俄歇电子谱线代表电子电离后的弛豫过程，如O和C的俄歇电子谱线有明显的峰群结构。自旋-轨道导致l＞0的内壳层成两个峰，如PbO中Pb 4f的。双峰间距和峰高比是判断元素化学状态的指标，如PbO的4f比例。
全谱分析用于确定样品中是否存在某些元素，如通过AlN和AlN:Er的例子验证掺杂效果。但全谱分析有局限性，只能提供粗略的元素位置信息，对低含量元素和深层次结构分析不够精确，与EDS相比，XPS提供更准确的元素价态和结构信息。
荷电校正对绝缘体和半导体的XPS测量至关重要，通过C1s峰位校准消除电势影响。高分辨谱（窄区扫描）则用于元素价态的精确判定，通过比较标准谱图和双峰间距判断，例如PtPd合金中电子转移的证据。通常，XPS谱图分析着重于表面化学状态的变化和元素间的电子相互作用。
